低温等离子体数值模拟方法的分析比较.pdf

第 28 卷 第 3 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.28, No.3 2 0 0 8 年 9 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Sep. 2008 文章编号：0254−6086(2008)03−0278−07 低温等离子体数值模拟方法的分析比较 袁忠才，时家明，黄 勇，马 柳 ( 电子工程学院安徽省红外与低温等离子体重点实验室，合肥 230037) 摘 要：分析比较了低温等离子体模拟中采用的流体模型、粒子模型和混合模拟方法及在放电特性分析中采 用的电路模拟方法。给出了每种方法的基本原理，探讨了它们的适应性。利用粒子模型对外磁镜场作用下四阳极 装置辉光放电所产生等离子体进行了模拟，分析了磁场对电子密度径向分布的影响。 关键词：PIC ；流体模型；混合模型；低温等离子体 中图分类号：O539 文献标识码：A 1 引言 模型在上世纪九十年代得以成功开发，这恰好与电 低温等离子体是一个呈现集体运动特性的带 感耦合等离子体装置的出现在时间上是一致的。当 电粒子的复杂系统，对其进行数值模拟通常较为复 时，能表征电感耦合等离子体装置许多方面特征 杂，它涉及到解中性粒子和带电粒子的动力学方 的、较全面的流体和混合等离子体模型得以开发来 程、辐射传输方程、麦克斯韦方程组，需考察大量 帮助设计和优化半导体工业中的这一新等离子体 的体积和表面反应，需要同时且自恰地满足不同的 处理过程[12~15] 。仅限于一维模型的粒子模拟主要用 时间和空间尺度分辨率。因此，要将等离子体的各 于平行平板放电，但它帮助我们加深了对电容耦合 个方面融入到一个详细的模型，必将使该模型变得 放电过程中的非局部效应的理解[16~18] 。结合统计碰 非常复杂，以致无法处理。尽管如此，通过简化模 撞，粒子模拟中的有界模型和高效计算技术在上世 型的开发和模拟技术的发展，以及针对特定的问题 纪九十年代中期得到发展[19, 20] 。近年来，粒子和混 选择适当的方法[1~3] ，对低温等离子体物理的数值 合模型得到了持续的改进，已被用来模拟大量的等 模拟仍然是理解低温等离子体的物理特性和改进 离子体系统。 的低温等离子体装置的有力工具。 虽然在近年来，由于高性能地价计算机的出 这些模型和相应模拟技术已经有了五十年以 现，等离子体计算机模拟得到了前所未有的发展， 上的发展历史，并仍方兴未艾，尤其在过去十年经 但必须注意到现有模拟技术的实际能力及其存在 历了快速的发展。对等离子体的数值模拟起源于上 的局限性。不同的等离子体系统要求不同的模拟技 世纪五、六十年代[4~7] ，这些早期的工作利用流体 术来捕获放电中的主要物理过程。尽管任何模拟方 模型来对电容耦合放电进行零维(处理体平均或参 法均存在一定的局限，但选择适当的等离子体模型 量均匀分布的纯等离子体化学模型)或一维的数值 可以使得模拟结果和实验观察保持足够的一致性。 模拟[8~11] 。由于当时计算机资源相当有限，重点主 本文将对被广泛用来进行低温等离子体模拟的流 要放在通过研究基本等离子体物理来确认和改进 体模型、粒子蒙特卡洛碰撞(PIC-MCC)模型、混合 建模技术上，而对于开发能模拟不同等离子体反应 模型以及放电电路模型的相关知识进行回顾。首先 装