突破光学衍射极限_发展纳米光学和光子学材料及器件.pdfVIP

高层论坛 Authority Forum 突破光学衍射极限，发展纳米光学 和光子学材料及器件 干福熹1,2 (1.中国科学院 上海光学精密机械研究所，上海201800;2.复旦大学，上海200433) 摘 要： 微电子学 （ Micro-electronics ）已突破Moore定律，进入纳米电子学 （Nano-electronics ） 时代。光子的传播速度 （1012 cm/s ）比电子传播速度 （109 cm/s ）快得多，纳米光学和光子 学材料及器件的发展正是迎合这种快速和高密度信息技术的需求。先进的纳米光学和纳米 光子学器件应该是快速、高分辨率和高集成的，形成各类光学和光子学芯片和盘片。先进 的材料是突破各类功能芯片的关键。在各类电子学以及光学和光子学的纳米芯片和器件制 造过程中，纳米刻蚀工艺是一个关键。与电子束、离子束和 射线刻蚀工艺相比较，光刻