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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ;’ ; ##: ; ， ， ， W-) 6;’ V- 6; H.A ##: （ ） ###?%=#Q##:Q;’ #; Q:;?#; 5PR5 ST9UP5 9UVUP5 ##: PC23 6 SCA0 6 9-* 6 ############################################################### 采用单边大光腔结构改善电吸收调制器的光场分布! ! 杨 华 朱洪亮 潘教青 冯 文 谢红云 周 帆 安 欣 边 静 赵玲娟 陈娓兮 王 圩 （中国科学院半导体研究所，国家光电子集成重点实验室，北京 ###$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ ’ ##’ $ 设计并制备了具有单边大光腔结构的半导体电吸收（ ， ）调制器 模拟和测试的结果均表明： ()(*+,-./0-,1+2-3 45 6 单边大光腔结构能有效地改善 调制器的光场分布，使椭圆形的近场光斑变得圆形化，从而达到与圆形模式光纤 45 之间的匹配，有利于提高耦合效率6 关键词：单边大光腔，电吸收（ ）调制器，光场分布，耦合效率 45 ： ， ， ， !## 7$#8 7$#9 :$#4 $; 式中， 与 分别为 光场分布在水平和垂直 % % 45H # $ G 引 言 方向上的模式半径， 为光纤的模式半径 可以看 6 到， 与光纤的耦合效率主要取决于两者模式之 45H 近年来，人们对信息传输的需求量呈现爆炸式 间的匹配 如果 ，则 ，即模式完 6 % I % I I # $ ! 增长，建立高速、长距离和超大容量的光纤通信传输 全匹配时，耦合效率可以达到 ## M （不考虑反射损 系统已成为当今社会发展的核心要求6 在该系统中， 耗和由于未对准引起的损耗）但是， 调制器最大 调制过程是决定整个系统传输