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动 能 财 料 2010年论文集 磁控溅射及后退火制备Ag纳米颗粒薄膜。 方 威h2，肖湘衡1’2，彭堂超1’2，蒋昌忠1’2 (1．武汉大学人工微结构教育部重点实验室，湖北武汉430072； 2．武汉大学物理科学与技术学院电镜中心，湖北武汉430072) 摘 要： 采用直流反应溅射在石英衬底上形成 会减小；HuijuanBiE钉等人研究了经过不同气体氛围退 A920薄膜，将薄膜样品经过空气和氢气两种气氛退火后形成的Ag纳米颗粒的光吸收谱，经H。和N。退 火得到Ag纳米颗粒薄膜；采用扫描电镜、紫外一可见光 火后的样品存在表面等离子体共振效应，随后经空气 当中退火后等离子体共振效应会消失。R．BrahmaLl叫 吸收谱对Ag纳米颗粒薄膜样品进行表征。从SEM 图可以看到退火后的样品形成了大致呈球形的Ag纳 采用离子束溅射沉积法在硼硅酸盐玻璃衬底上制备出 米颗粒，并且发现随着退火温度的升高，Ag纳米颗粒 会由小颗粒团聚而形成大颗粒；通过分析样品的紫外一 可见光吸收谱，发现两种气氛下退火，随着退火温度的 火制备Ag纳米颗粒薄膜，并且详细讨论了Ag纳米颗 升高，Ag纳米颗粒的表面等离子体共振(SPR)吸收峰粒粒径和其共振吸收峰随退火温度的变化情况。 都会先发生蓝移然后发生红移，空气退火的Ag纳米 2 实验方法 颗粒吸收峰移动范围比较大，退火温度在450℃时峰 住红移至490nm；在400和450℃时由于形成较大的本实验首先采用直流反应溅射的方法在石英衬底 Ag颗粒，导致多极模式的等离子体共振的产生而在短 上形成Ag：O薄膜，然后将Ag。O薄膜经过氢气和空 波方向(360rim)出现一个明显的伴峰。通过控制退火气两种气氛的退火得到Ag纳米颗粒薄膜。退火温度 氛围和退火温度，可以有效地调节Ag纳米颗粒薄膜 Nava 的颗粒粒径和共振峰位。 为30min。采用FEINanoLab型扫描电镜(工作 关键词：磁控溅射；Ag纳米颗粒；退火；共振峰 电压20kV)观察和分析Ag纳米颗粒薄膜表面形貌和 中图分类号i 0614．122；TGl56．2文献标识码：A 颗粒粒径。用VarianCary5000型紫外一可见双光束分 光光度计测试样品，测量范围为200～800nm。 1 引 言 3结果与讨论 金属颗粒特别是贵金属如：金、银、铜等的独特的 光学特性以及其在光学器件和其它纳米材料上的应 图1为空气退火后样品的光吸收谱，可以看到，退 用，在近几十年来被众多学者广泛地研究。当金属颗 粒被镶嵌在不同的基底中时，将表现出与体材料完全 范围内都出现一个明显的吸收峰，此吸收峰是由Ag 7净¨]。 不同的电学和光学性质[I]，例如巨大的表面体内原子 纳米颗粒表面等离子体共振所引起的m 比所决定的增强界面等离子共振吸收及可能的量子尺 枷nm 寸效应，基于这些特殊的光电学特性可将其用于研究 l 矿 新型的纳米光电、光化学材料。 毫 由于其表面等离子体共振效应(SPR)，金属纳米 要 啊