集成电路三温测试数据在失效分析中的应用 application of three-temperature test data in ics failure analysis.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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集成电路三温测试数据在失效分析中的应用 application of three-temperature test data in ics failure analysis.pdf

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集成电路三温测试数据在失效分析中的应用 application of three-temperature test data in ics failure analysis

集成电路三温测试数据在失效分析中的应用李兴鸿，赵俊萍，赵春荣 (北京时代民芯科技有限公司，北京100076) 摘要：在集成电路的失效分析中，测试数据有非常重要的作用。从集成电路的三温电性能测试数据出发，论述了电性能测试数据与集成电路基本元器件参数的关系．对理清分析思路和揭示集成电路失效的根本原因有一定的帮助? 关键词：测试数据；集成电路；失效分析中图分类号：TN43 文献标志码：A doi：1()．3969／i．issn．1672—5468．2013．05．00l in of TestDataICs ApplicationThree—Temperature Failure Analysis UXing—hong，ZHAOJun—ping，ZHAOChun—rong MXTronics 100076，China) (Beijing Co．，Ltd．，Beijing the Testdata an roleinICs between A搬ract： play important failure舳alysis．Relationship andthe ofICsbasic isdiscussedf而mthe electrical testdata components perfbmance p籼etells of to and electrical testdataICsunder clarify perfo瑚ance three—temperature．Ithelps thoughts revealrootcauseofICsf萄lure． data；IC；黼lure Key、帕rds：test analysis O 引言数失效根本原因的前提。器件三温参数每天都在测试．发生失效时要解释清楚原因则不容易找到切入在集成电路的失效分析中．我们经常遇到与温点。基于这样的理解，本文将常见的三温测试数据度相关的参数失效案例。我们知道，失效分析结论与器件工艺参数结合起来进行综合的分析．为寻找是寻找故障产生根源的重要依据。因此，对失效分能够引起器件参数失效的根本原因提供一些方法或析结论的正确描述非常重要。在集成度高、金属布思路。线层数多的情况下，光学非可见缺陷成为常态。在 1测试数据示例这种情况下．失效分析结论经常是根据电测试结果并结合器件结构的知识推论出来的。为了全面把握事实的真相．保证失效