Capacitive micromachined ultrasonic transducer （电容式微型机械超声换能器）.pdf

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2017-08-11 发布于浙江
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Capacitive micromachined ultrasonic transducer （电容式微型机械超声换能器）.pdf

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Capacitive micromachined ultrasonic transducer （电容式微型机械超声换能器）

Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) for biometric applications Thesis for the Degree of Erasmus Mundus Master of Nanoscience and Nanotechnology PAVLO FESENKO Promoters: Professor Peter Enoksson, Chalmers University of Technology Professor Robert Puers, Katholieke Universiteit Leuven Department of Microtechnology and Nanoscience CHALMERS UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Göteborg, Sweden, 2012