非球面检测路径与高精度曲线拟合算法研究-中国机械工程.PDF

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2017-08-12 发布于天津
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非球面检测路径与高精度曲线拟合算法研究-中国机械工程

非球面检测路径与高精度曲线拟合算法研究———郭隐彪郭江王振忠暋非球面检测路径与高精度曲线拟合算法研究郭隐彪郭江王振忠暋 , , 厦门大学厦门 361005 : , , 摘要为适应轴对称非球面光学元件面形检测的要求建立了三种不同的检测路径并对三种路径进行 , , 。了评价和对比阐明其优缺点及适用情况进而建立了一种高精度数据处理系统采用Gauss-Newton算法 , 进行非线性最小二乘曲线拟合分别以单调型和超二次型非球面方程为数学模型验证了该曲线拟合算法的精。 : , 。确性试验结果表明该算法的拟合误差在1nm数量级可用于完成高精度的数据曲线拟合 : ; ; ; 关键词非球面数据处理曲线拟合最小二乘法中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TG58暋暋暋 1004 132X200810 1201 04 StudonMeasurin PathandHih- recisionCurveFittinAlorithmforAxismmetricAshericOtics y g g p g g y p p GuoYinbiao暋GuoJian Wan Zhenzhon g g g , , , XiamenUniversit XiamenFuian361005 y j : , AbstractInaccordancewiththereuirementsofaxismmetricashericmeasurin three aths q y p g p were utforwardandestimated.Thea licantsituationsofthesethree athswereanalzed.Adata p pp p y rocessin sstemwithhih recisionwascarriedout.TheGauss-Newtonmethodwasadotedas p g y g p p thecurvefittin alorithmfortheaxismmetricashericsurface.Themonotonousandsuer- uadric g g y p p q euationsofaxismmetr