压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证.pdf

第 24卷 第 9期 光学 精密工程 Vo1．24 No．9 2016年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sept．2016 文章编号 1004—924X(2016)09—2255—07 压 电微位移 台的动态迟滞建模及实验验证 杨晓京 ，彭芸浩，李 尧 (昆明理工大学机电工程学院，云南 昆明650500) 摘要：为了提高压 电微位移平台快速定位的精确度，建立了一种表征压 电微位移平台驱动电压与输出位移关系的定位模 型。考虑压 电工作台在快速、大行程精确定位过程中会受压 电陶瓷迟滞特性及本身动态特性的影响，本文采用Bouc— Wen模型描述压 电陶瓷迟滞特性 ，并结合压 电工作台的动态特性进行共同建模，使模型同时体现压 电工作台的动态特 性与迟滞特性。为了验证模型的正确性 ，搭建了基于压 电微位移平台和相关驱动器的实验设备对模型进行了实验验证， 并进行了测控程序的二次开发。研究结果表明，与单纯的Bouc—Wen模型相 比，提出模型在最大位移输出为40 m，输入 电压频率为 40Hz时的最大误差 由3．04 m下降到了0．67 m，此时最大相对误差为 1．68 。得到的结果验证 了提 出 的模型可较好地模拟压 电工作台的迟滞特性与动态特性，大大提高压 电微位移平台在快速、大行程定位中的精确度。 关 键 词 ：压 电微位移 台；动态特性 ；迟滞特性 ；Bouc—Wen模型；运动定位 中图分类号：TP271．4；TH701 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2255 Dynamichysteresismodelingand experimentalverification ofpiezoelectricpositioningstage YANGXiao-jing ，PENGYun-hao，LIYao (SchoolofMechanicalandElectricalEngineering， KunmingUniversityofScienceandTechnology，Kunming650500，China) *C0rrPsp0 gauthor，E-mail：xjyang@vip．sina．corn Abstract：To improve the precision ofrapid positioning of a piezoelectric positioning stage，a positioningmodelisestablishedtocharacterizetherelationshipbetweendrivingvoltageandoutput displacementoftheplatform．Asthepiezoelectricpositioningstageforprecisionposition inthefast andlargestrokeisnotonlyaffectedbythehysteresischaracteristicsofthepiezoelectricceramics，but by the dynamic characteristics。 this paper uses Bouc—W en model to describe the hysteresis characteristicsofpiezoelectricceramics，combineswiththedynamiccharacteristicsofthepiezoelectric positioning stage to establish model，and letsthemode1reflect the dynamic characteristics and hysteresischaracteristicsoftheplatform．Toverifythecorrectnessofthemodel，theexperimental equip