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2017-08-13 发布于上海
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基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计 design of polishing fluid supply system based on compound control of inverse compensation.pdf

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基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计 design of polishing fluid supply system based on compound control of inverse compensation

第27卷第4期电子测量与仪器学报％f．27No．4 ·366· OF MEASUREMENTANDINSTRUMENT loURNALELEC豫OMC 2013年4月 187．2013．00366 DOI：10．3724／SP．J．1 基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计术尹志生郑楠于淼彭吉闫丰 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033) 摘要：根据磨料水射流抛光加工工艺要求，设计了一套以比例阀和溢流阀为流量调节元件的抛光液供给系统。但由于溢流阀在调节过程中的正反行程工作曲线不重合，导致系统存在较大的迟滞及非线性。针对这一情况，采用了前馈逆补的阶跃响应效果对比实验。结果表明，逆补偿复合控制策略能很好的改善系统响应品质，超调量和响应时间得到了明显减少，实现了抛光液射流流量的快速、高精度控制。关键词：逆补偿；复合控制；抛光液供给中图分类号：TP273．3文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．8040 of fluid basedon Designpolishing system supply controlofinverse compound compensation Yin NanYuMiao Ji Yan ZhishengZheng Peng Feng (State of Instituteof KeyLaboratoryAppliedOptics，ChangchunOptics， FineMechanicsand of 130033，China) Physics，ChineseAcademySciences，Changchun tothe fluid is Abstract：Accordingjetmachiningprocessrequirements，apolishingsupplysystemdesigned，in whichthe valveandreliefvalvealetheflow tothe of element．However，due proportional regulator inconsistency valve’S and hasa atthissitua- therelief curve，the and openingclosing system largehysteresisnonlinear．Aiming control ofinversemodelfeed·forward andPIDfeedbackareusedtoachieve tion，compoundstrategy compensation controlofthe onTMS320F2812DSP contrastof high—precis