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[X’Pert PRO MPD 批处理程序设置] 文件保存设置 插入测量程序 插入仪器设置 插入时间设置 点击 ,则会打开 Measurement Program Step对话 框(如右图)以插入扫描程序,点击该对话框中的 ,选择所需要的扫描 程序, ,将该扫描程序添加到批处理程序列表中 . File Name 域中的 Save measurement to file 选框设置是否保存该扫描数据,其下 Folder, Filename prefix, Filename suffix 文本框分别设置扫描数据的保存目录, 文件名的前后缀字串,其中前两项设置(Folder 和 Filename prefix)在使用 Operator Interface 批量测量时无效 . 点击 ,打开 General Batch Settings 对话框, 在 Position 标签页中可以设置测角仪角度位置, X-ray / PHD 标签 页中可以设置衍射仪的开或关和电流 电压以及探测器的能量窗口 (PHD levels), Sample Offsets 标签页中可以设置角度校正值(类 似菜单 User Settings - Sample Offsets 所打开的 Sample Offsets 对话框),如果使用可变温样品台,在 Sample Stage 标签页 还可设置温度变化 .设置完毕, ,即可将设置添至批处理列 表中 . 点击 ,在所打开的 Time Setting 对话框中可 以设置在下一步动作前需要停侯多长时间,或停侯到何时, , 将停侯时间设置添至批处理列表中 . 新插入的程序步骤都将添加到批处理列表中选中行的前面 . [Automatic Processing Program 监控设置] 右键点击任务栏右侧系统栏中 APP 图标, 点击 Rules 菜单项打开数据自动处理规 则对话框,在 Data Collector 标签页中设 置针对 Data Collector 得到的数据进行 自动分析的规则. Data Collector 标签页中上方的 Rules 列表列出已存在的规则,可以用 删除 ;也可选中某行规则 ,然后在下方的 Build rule 域中修改或以该规则为模板 新添加一个规则 . Build rule 域中前三项 Measurement program type, Measurement program name 和 Measurement program owner 用来过 滤出要执行处理的由 Data Collector 中指定程序类型,指定程序,指定登录帐号得到的扫描数据; Command 项定义用什么程序来进行 处理, Arguments 则是进行处理时该程序所用的参数 ; Comment 项对该规则做备注说明 ; Active 选框用来设置该规则是否生效 ; Time-out for this rule 设置数据产生后延迟多久才进行处理;按钮 和 分别为保存修改和添加成新规则 . [Operator Interface 软件设置] C:\XOIGeneral Data\ 中文件说明 \samplechanger\GaN_2_[n]pcs.xml n 片 2’’ GaN 晶片单个晶面测量的样品盘位置模板 \samplechanger\GaN_2_2in1_[n]pcs.xml