前载式单探头.PDF

前 载 式 单 探 头 INFICON 前载式单晶体探头提供验证的可靠性和持久性, 与市场上任何探头相比, 具有最好的热稳定性. 对于从侧 面插入无足够空间的应用, 前载式结构易于插入晶体架. 用机械装配代替焊接, 必要时可现场方便地更换部件. 探头 可单个订购或订购探头 / 法兰组合, 可选焊接的或直口接头装配的结构. 探头配置 提供两种探头配置: 标准型和紧凑型. 标准型用于从真空室的侧面或底部安装, 冷却管与晶片是平 行的. 紧凑型用于从真空系统的顶部安装, 冷却管与晶片是垂直的. 可选购探头带有气动晶体挡板, 用于在源加热升温的过程中, 交替材料沉积或未使用晶体时, 或为延长晶体寿命使用 RateWatcher™ 时保护晶体. 为便于更换晶体, 挡板采用下拉式结构. 为有效地消除 RF 干扰的问题, 暴露的晶体电极是妥善接地的. 法兰 INFICON 提供两种法兰的可选型号: 1 螺丝法兰或 2 ¾ (CF40) ConFlat® 法兰. 可按用户要求提供 KF40 法兰. 法兰连接 前载式单探头可订购带法兰的组合型. 探头 / 法兰连接可采用焊接或直口接头. 直口接头易调整, 无钎焊或焊接的要求. 法兰可沿管长移动, 对于 E 长度探头, 在真空系统内的长 度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8- 28) 的范围内调整, 对于 G长度探头, 可在 20.3 厘米至 121.9 厘米 (8- 48) 的范围内调整. 一旦确定所需的长度, 直口接头可用手指拧紧的管密封件 或者, 可选 . 焊接连接. 如需焊接连接, 必须在订购前填写 INFICON 提供的一个探头长度规格表. 优 点 ■ 前载式晶体支架 ■ 可按客户要求提供特定长度焊接 ■ 易安装 的探头 / 法兰组合. ■ 可提供: ■ 如订购直口接头的, - 2.54 厘米 (1) 螺纹法兰 - CF40 法兰 无需钎焊或焊接法兰 ■ 如订购直口接头的, 可调节长度 订购资料 前载式单探头 (带真空内电缆) SL – 注 1: INFICON 接到签署的尺寸图后, 才能进入焊接 ➤ ➤ ➤ ➤ ➤ 法兰的探头订货. 一旦专用的长度或制造订货 探头型号 (包括真空内电缆, 晶体抓住器和用户手册. 晶 确认后, 不能取消订货. INFICON 将提供探头 体单独销售) 长度的技术规范表. 标准探头 (水管平行) A 注 2: 紧凑探头 (水管垂直) B