力平衡式微加速度计的非线性误差确定-中国机械工程.PDF

力平衡式微加速度计的非线性误差确定———周 吴 何晓平 苏 伟等 暋 暋 暋 暋 力平衡式微加速度计的非线性误差确定 , 12 2 2 1 周 吴 何晓平 苏 伟 李柏林 暋 暋 暋 暋 暋 , , , , 1.西南交通大学 成都 610031暋暋2.中国工程物理研究院电子工程研究所 绵阳 621900 : , , 摘要 从闭环控制系统出发 基于力平衡式微加速度计的工作原理及工作过程 分析了机电耦合控 , : 制与结构参数对加速度计灵敏度与非线性误差的影响 并运用解析法得出以下结论 加速度计的灵敏度 ; , 与系统的交流偏压及增益无关 非线性误差与系统的交流偏压及闭增益成反比 与输入加速度的三次方 。 , 成正比 运用深反应离子刻蚀技术与硅微键合技术制造出加速度计敏感芯片 离心机测试的数据表明 实际结果与理论结果相符。 : ; ; ; ; 关键词 微电子机械系统 微加速度计 力平衡式加速度计 非线性误差 灵敏度 中图分类号: ; ; 文章编号: — ( ) — — TH12TH82TN16暋暋暋 1004 132X200915 1791 03 NonlinearErrorsofForce-balancedMicroAccelerometer , 12 2 2 1 ZhouWu 暋HeXiaoin 暋SuWei暋LiBailin p g , , 1.SouthwestJiaoton Universit Chendu 610031 g y g , 2.InstituteofElectronicEnineerin ChinaAcadem of g g y , , , Enineerin Phsics Mianan Sichuan621900 g g y y g : AbstractTheeffectsoftheco-fieldsandstructuralarametersofaforce-balancedaccelero- p me