基于硅基二氧化硅阵列波导光栅宽带低串扰单纤三向器-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ３９ ２ 　 　 　 Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．２ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１０ ２ Ｆｅｂｒｕａｒ２０１０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 文章编号： （ ） １００４４２１３２０１００２０２０５５ 基于硅基二氧化硅阵列波导光栅宽带 低串扰单纤三向器 李俊一，安俊明，吴远大，李建光，王红杰，胡雄伟 （中国科学院半导体研究所 光电研发中心，北京 １０００８３） 摘 要：采用硅基二氧化硅阵列波导光栅设计并制作了宽带低