基于硅基二氧化硅阵列波导光栅宽带低串扰单纤三向器-光子学报.PDF

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基于硅基二氧化硅阵列波导光栅宽带低串扰单纤三向器-光子学报

第 卷第 期 光 子 学 报 39 2       Vol.39No.2 年 月              2010 2 Februar2010 ACTAPHOTONICASINICA y 文章编号: ( ) 1004421320100202055 基于硅基二氧化硅阵列波导光栅宽带 低串扰单纤三向器 李俊一,安俊明,吴远大,李建光,王红杰,胡雄伟 (中国科学院半导体研究所 光电研发中心,北京 100083) 摘 要:采用硅基二氧化硅阵列波导光栅设计并制作了宽带低

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