原创力文档多晶硅商业生产的改良历程-洁净室
Tech Features
Bruce Hazeltine Chad Fero Wenjun Qin
, and , GT Solar
Influence of Pressure and # of Rods
CVD
on CVD Reactor Producvity
)
r Pressure: 6 bar
a
(MGSi) e Pressure: 1 bar
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