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多羟多胺在TSV铜膜CMP中的应用研究.PDF

多羟多胺在TSV铜膜CMP中的应用研究.PDF

    多羟多胺在TSV铜膜CMP中的应用研究

    : 王辰伟 等 多羟多胺在 TSV铜膜 CMP中的应用研究 3603 文章编号: ( ) 1001-9731201324-3603-03 多羟多胺在TSV铜膜CMP中的应用研究∗ , , , , , 王辰伟 刘玉岭 蔡 婷 马锁辉 曹 阳 高娇娇 　 　 ( , ) 河北工业大学 微电子研究所 天津 300130 : ( / ) 摘 要 对自主研发的多羟多胺络合剂 在 在 条件下能够与铜离子形成极稳定可溶于水的 　 　 FA O CMP ( ,

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