太赫兹sisige量子级联激光器波导模拟 waveguide simulation of a thz sisige quantum cascade laser.pdfVIP

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2017-08-14 发布于上海
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太赫兹sisige量子级联激光器波导模拟 waveguide simulation of a thz sisige quantum cascade laser.pdf

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太赫兹sisige量子级联激光器波导模拟 waveguide simulation of a thz sisige quantum cascade laser

第29卷第5期半导体学报 V01．29No．5 JOURNAL 2008年5月 OFsEMIc0NDucToRS May，2008 SimulationofaTHz CascadeLaser* Si／SiGe Waveguide Quantum ChenRuil，Lin Yu Guijian91，ChenSongyanl”，LiChen91，LaiHongkail，andJinzhon91，2 (1 of PhotonicsResearchCenter，X，famen 361005，China) DepartmentPhysics，Semiconductor University，Xiamen (2State on Semiconductors，ChineseofSciences，Belting100083，China) KeyLaboratoryIntegratedOptoelectronics，Instituteof Academy Abstract：The isoneofthemost inaterahertz cascadelaser(QCL)．Si／SiGe design importantparts quantum waveguide QCL ontheDrudemodelandfinite-differencetime·domain(FDTD)method，arethetradi- waveguides。based designedby tionalrefractiveindex structure，the metalstructure，thedouble-metalcladstructure，andanovel waveguide single-sided silicidestructure．The silicide modalconfinement，isconvenientin metal／metal metal／metal process structure，showinghigh andis tobeaviable solutionfor intheTHz engineeringexpected waveguide Si／SiGeQCLs range． cascade Keywords：terahertz；Si／SiGe；quantumlaser；waveguide PACC：4255；5240F；7320D CLC Document Article nnmher：TN25 code：A ID：0253．4177(2008)05·0893-05 1 Introduction 2 structureandDrudemodel