热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , ’ 热解条件 对热解碳沉积模 式和形貌 的影 响 尹 洪 峰 徐 永 东 张立 同 西 北 工 业 大 学凝 固技 术 国家重 点实验 室 西 安 摘 要 以丙 为 为 释 , 究 了沉积 温 、 丙 流量 、 系统总压 沉积物形貌 的 烯 源物质氢气 稀 气体 研 度 烯 对 、 影 响 利用 晶体成核 一 生长理论解释 了各种形貌 的成 因 实验证 明随着 沉积温度 的升高 系统 , 总压 的增 大 热解碳 的沉积 由表面化学反 应成核 一 生长模式 向熔滴模式和气相成核 一 生 长模式 过渡 沉积温度不 同丙烯流量对沉积模式影 响规律不 同 沉积模式 随沉积条件 的改变决定 了热 解碳沉积物形貌 的改变 关 键 词 热解碳 , 沉积条件 , 沉积模式 , 丙烯 分 类 号 引言 以碳 氢 化合物 为源 物 质 , 化 学 气相 沉 积 或 热 解 碳 已被 用 于 制 备 核 燃 料 涂 · 层 、 碳 碳 复合材 料 、 陶瓷基 复合材 料 的界 面相 等 热解碳 的结构 、 形 态 和 性 能 随热解 条 件 的改变而 改变 , 已有很 多文献对此做 了报道 一 】为 了解释这 些 现 象 , 提 出 了许 多沉积 模 式 , 有影 响 的有如下三种 逐步成层模 式 , 该模式认为 , 热解碳在 基体表面 成核 并逐层 生长 根据在 基体上 生成碳粒子 的单元大 小又 分 为 单原子 沉积模 式 、 双 原子和 三 原子 沉积 模 式等 连续成核理 论 , 该理 论 认为在基体上 长大 的晶体长大到一 定程度 又 成为新 的生 长 点 , 并不 断延