- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析
《半导体光 电~2015年 1O月第 36卷第 5期 曹井通 等 : 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析
电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析
曹井通,崔 峰,陈 伟 ,郭兆鑫,陈文元
(上海交通大学 微纳电子系 微米纳米加工国家重点实验室,上海 200240)
摘 要 : 基于MEMS加工技术,提 出了一种加热、传感 电极和反应腔 室可分 离的 PCR芯片
结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用 PDMS材料 ,芯片的制造成本
大为降低 。利用CoMSOL软件对设计的PCR芯片进行 了温度场仿真分析 ,并用红外热像测温仪
(NECR300)对微制造的芯片温度场分布进行 了测量。测量结果表 明芯片结构能得到较好的温度
均匀性,为后续PCR芯片扩增实验提供 了可靠的依据。
关键词: MEMS;PCR芯片 ;PDMS;COMSOL;温度仿真
中图分类号:TN492 文献标识码 :A 文章编号 :1001—5868(2015)05—0725—03
AnalysisonPCR ChipW ithReusableElectrodesanditsTemperatureField
CAOJingtong,CUIFeng,CHEN Wei,GUO Zhaoxin,CHEN Wenyuan
(NationalKeyLab.ScienceandTechnologyonMicro/NanoFabrication,DepartmentofMicro/NanoElectronics,
ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240,CHN)
Abstract: A Flew micro—machinedPCR chipwith separableelectrodesandreactionchamber
waspresented.The electrodespart,employing Ptfilm resistoras heatersand sensors,is
reusable,and the chamber partis a disposable PDM S-GLASS bonded structure. ThisPCR
microchipwithreusableelectrodescan largelyreducefabricationcost.COM SOL softwareisused
tosimulate the temperaturedistribution ofthe designed chip anduseinfrared thermometerto
verifytemperaturedistributionofthefabricatedchip.Thetestresultsturnouttoperfectlyfitthe
simulation of temperature distribution, which provides reliable basis for further PCR
amplificationexperiment.
Keywords: M EMS;PCR microchip;PDMS;COMS0L;temperaturesimulation
0 引言 芯片。程京等人在芯片材料上采用硅和玻璃键合 ,
制作微腔室 PCR芯片l2;Poser等人则将硅上微室
PCR生物芯片由于弥补 了大型PCR仪设备笨 数 目增加到2个 ,以并行的方式对多个试样进行 同
重昂贵、样品消耗大且反应时间长等缺点,得到了广
时分析 ,并在芯片底部集成了薄膜 电阻加热器和温
泛关注和快速发展。 度传感器[3];c.H.Cho等人设计 了一款 PDMS—
Northrup等人于 1993年最早在硅片上加工制
您可能关注的文档
- 用高分子聚合物型表面活性剂改善堆浸铀矿石渗透-中国表面活性剂网.PDF
- 用于_芯片试验室_的静电机制微液滴控制芯片的研制caj-分析化学.PDF
- 用电器电源导线开关电路的连接注意点.PPT
- 用生物信息学方法处理基因芯片结果-湖南师范大学.PDF
- 由此可见当刚体转动是力所作的功等于该力转轴的力矩对角坐标的.DOC
- 由於根生长环境可以控制因此切花栽培玫瑰花种苗多己使用扦插苗.PPT
- 甲状腺素片及饥饱失常法建立肝郁证大鼠模型的研究.PDF
- 由浅入深STM32F0开发板.PDF
- 甲醇系产品的生产-兰州石化职业技术学院.PPT
- 申请条件-逢甲大学国际事务处.DOC
- 2025年安徽邮电职业技术学院单招职业技能考试题库及参考答案1套.docx
- 2025《树莓派下小型考勤系统的总体设计案例》2600字.docx
- 2025年安徽财贸职业学院单招(语文)测试题库及答案1套.docx
- 《班级纪律班规班会制度》PPT.pptx
- 2025年安徽财贸职业学院单招语文测试模拟题库汇编.docx
- 2025年安徽财贸职业学院单招职业适应性测试题库精选.docx
- 2025《绿色物流包装的绩效评价分析案例》4900字.docx
- 2025《防盗门生产方案确定与技术路线分析概述》2900字.docx
- 2025《冷水江钢铁会计信息化发展现状及问题研究》开题报告文献综述.doc
- 2025《基于同步荧光光谱技术的蔬菜抗生素检测研究》5200字.docx
文档评论(0)