电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析.PDF

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电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析

《半导体光 电~2015年 1O月第 36卷第 5期 曹井通 等 : 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析 电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析 曹井通,崔 峰,陈 伟 ,郭兆鑫,陈文元 (上海交通大学 微纳电子系 微米纳米加工国家重点实验室,上海 200240) 摘 要 : 基于MEMS加工技术,提 出了一种加热、传感 电极和反应腔 室可分 离的 PCR芯片 结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用 PDMS材料 ,芯片的制造成本 大为降低 。利用CoMSOL软件对设计的PCR芯片进行 了温度场仿真分析 ,并用红外热像测温仪 (NECR300)对微制造的芯片温度场分布进行 了测量。测量结果表 明芯片结构能得到较好的温度 均匀性,为后续PCR芯片扩增实验提供 了可靠的依据。 关键词: MEMS;PCR芯片 ;PDMS;COMSOL;温度仿真 中图分类号:TN492 文献标识码 :A 文章编号 :1001—5868(2015)05—0725—03 AnalysisonPCR ChipW ithReusableElectrodesanditsTemperatureField CAOJingtong,CUIFeng,CHEN Wei,GUO Zhaoxin,CHEN Wenyuan (NationalKeyLab.ScienceandTechnologyonMicro/NanoFabrication,DepartmentofMicro/NanoElectronics, ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240,CHN) Abstract: A Flew micro—machinedPCR chipwith separableelectrodesandreactionchamber waspresented.The electrodespart,employing Ptfilm resistoras heatersand sensors,is reusable,and the chamber partis a disposable PDM S-GLASS bonded structure. ThisPCR microchipwithreusableelectrodescan largelyreducefabricationcost.COM SOL softwareisused tosimulate the temperaturedistribution ofthe designed chip anduseinfrared thermometerto verifytemperaturedistributionofthefabricatedchip.Thetestresultsturnouttoperfectlyfitthe simulation of temperature distribution, which provides reliable basis for further PCR amplificationexperiment. Keywords: M EMS;PCR microchip;PDMS;COMS0L;temperaturesimulation 0 引言 芯片。程京等人在芯片材料上采用硅和玻璃键合 , 制作微腔室 PCR芯片l2;Poser等人则将硅上微室 PCR生物芯片由于弥补 了大型PCR仪设备笨 数 目增加到2个 ,以并行的方式对多个试样进行 同 重昂贵、样品消耗大且反应时间长等缺点,得到了广 时分析 ,并在芯片底部集成了薄膜 电阻加热器和温 泛关注和快速发展。 度传感器[3];c.H.Cho等人设计 了一款 PDMS— Northrup等人于 1993年最早在硅片上加工制

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