静电驱动可调微机械电容.PDF

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２８ ９ 犞狅犾．２８ 犖狅．９ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００７ ９ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犛犲．２００７ 狆 静电驱动可调微机械电容  方东明 付 世 周 勇 赵小林 　 　 　 　 　 （微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室， 上海交通大学微纳科学技术研究院，上海 ２０００３０） 　 摘要：利用简单 技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容 此电容由静电驱动，利用 犕犈犕犛 ． 犠犢犓犗犖犜１１００ 光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息 测试结果表明，电容的吸合电压 ． 为 ，电容可调比为 ，在 下品质因数为 ，电容值为 １３５犞 １３１∶１ １犌犎狕 ５１６ ０７９犉． 狆 关键词：可调电容；射频微机电系统；品质因数 ： ； 犘犃犆犆 ０７１０犆 ７２３０ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犕５３ 犃 ０２５３４１７７２００７０９１４５４０５ 　　　 　　　 静电驱动耗能高，而且利用热驱动使得电容器容易 ［］ ５ １ 引言 受温度变化的影响．犉狉犻狋狊犮犺等人 利用表面微机械 　 加工技术，采用多孔硅的干法刻蚀释放 犃犾１％犛犻薄 电容是重要的电路元件，它是滤波器、谐振器、 膜，用牺牲层干法刻蚀工艺（ 狊犻犾犻犮狅狀狊犪犮狉犻犳犻犮犻犪犾犾犪犲狉 狔 振荡器的重要组成部分 射频电路需要可调范围大、 ， ）制作了三极板可