高角度环形暗场Z衬度像成像原理及方法.pdfVIP

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高角度环形暗场Z衬度像成像原理及方法

第25卷 第4 期 兵器材料科学与工程 Vol. 25 No. 4 2002 年 7 月 O DNANCE MATE IAL SCIENCE AND ENGINEE ING July 2002 X Z ( 010062) : , , , (HAADF) (Z - ) :Z ; ; :TN153 :A :1004) 244X(2002) 04) 0044) 04 (STEM) TEM SEM , ( 100~ , 400keV)( 0. 126nm)[2] , , , TEMSEM , 0. 1 STEM 1 [1] 1 nm : 1. (1MeV ); 2. ( Cs) / keV ;3.;4. ; 5. TEM 100 (H TEM); 6.Z (HAADF) Z SEM 1~ 30 , , STEM 100~ 400 1 STEM 的成像 STEM 1. 1 STEM (HB- 501 ), , (TEM) SEM TEM , , STEM SEM , TEM/ STEM , (S)TEM TEM ; 8 STEM, TEM SEM ( SEM) JEOL 2010F , 1. 2 STEM TEM 1TEM STEM , , 1(A) TEM X :2002- 03- 18;:2002- 05- 10 :( 1954- ), , , , , E - mail:li- pf@263.net 4

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