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丰导体厂洁净空调换气节能技术之研究 半尊骼魔课净空A换氧筋能 技衔之研究 AStudyofEnerygSavingTechnologyforMake-upAirinSemiconductorFactory 隙良铜 王文博 资格:圃家高等考拭及格冷谏空稠工程技肺 现联:夏北科技大季冷谏空稠工程系暨研究所教 现珊:漠亚工程顾简主任技郎 授兼系主任、所长 亚翔工程技街倾简 矗佳育案板简 雷子郸件信箱:f10035@ntut.edu.tw 霓子郊件信箱:g534411@tm28.hinet.net 摘要:由于地球温室效f来势凶凶，廿一世纪将是命能减磨世代，半筹艘蔽是主要雷能用户，半尊艘 深净空稠必须引人大量外氟来潇足大量制程排氧舆漆净室厘之雄持，外氧空稠箱(MAU)之宵宜雷能消耗 量占半尊艘晶圆瘫德霓力需求之20%左右;因此，MAU是半尊艘晶圆魔最大之耗能毅偷,MAU之筋能封 筋能减磨具立竿兑影之效。 为了减缓地球之温室效愿，高科技崖巢之登展又不能停滞，舆其持箱典建雷蔽，不如梢拯落宵筋豹能 源，减少雹力之消耗。 本研究针封MAU之能源使用现况，提出有朋MAU可能舆可行饰能方式，内容包括:以熟交换姐管回 收排氟之冷能、以熟交换姐管或熟管封MAU冷却除SIR管前后淮行熟交换、笙冰水温度系统在MAU之虑 用、MAU串聊冰水管路之鹿用、鼓夙式舆抽夙式MAU之耗能比较、夙卓最佳递搏黯之遴定、冷却除瀑回温 再冷却除漏之相互能源耗捐、冷却除潺 管冷凝水再蒸癸之防止、化擎除混舆冷却除潺耗能之比较、降低 冬季加潺预熟温度之要镇、充分利用熟回收冰水主拢之要领、提高氧状污染物移除效率之要镇、空氧洗瀚 器兼加潺之限制、减少潦净空氧泄漏之要镇、及减少深净空氧释放之要镇。 .扭铜:外氧空稠箱,筋能、冷却除漏,氛状污染物 一、前官 一般人常裸以A半尊骼彦案既然是高科技崖案，一定是省能工案;事宵上，半尊艘蔽之耗能相蓄鹿 大;由于半尊馥厥之附加值值梗高，雄持俊置之霓源供虑是半尊艘座案之基本需求。半尊艘厥之能源费 用占整艘生魔成本之比例诬低，蔽捞普遍善成崖能至上、工程遭度为重之豁知，但在高可靠度之雷能供愿 下，很少厥挤合想到筋豹能源。 半筹傲厥是主要雷能用户，冷谏容量速10,000RT之商用空刹镖的物相富少，而一座八及时半尊艘晶 圆蔽之冷谏容量往往就已接近10,000RT。以基梢三厥乌例，蔽捞毅施雷力需求占半尊霞晶圆魔愿雷力需 求之60%左右，庙移毅施雷力分布以冰水主钱(CHU)占64%九最大，MAU占6%居次，而CHU耗用大量雷 能所提供之冰水，有一半是供始MAU;因此，MAU是半尊艘晶圆魔最大之耗能毅储,MAU之筋能封筋能减 磨具立竿晃影之效。 廉9a力将因二氧化碳排放量之管制而成海ei史，半尊艘崖案如再不思郁能减磨，除必须搪盒高额 之霓费外，甚至曹面晦贸易制裁的阴题;因此，MAU之筋能是半尊艘座 在廿一世纪初最主要之裸题。 二、外氛空胡箱之那能 半尊馥魔往往须靠大量排氛来避免制程中之酸、碱、溶例、毒氟或高温氟馥之抉散,漂净室亦需靠正 鹰来避免外界污染空氧之渗人。因此均投有NIAU，引人大量外氧来滩持津净室之正屋。 夏季之外界空氧既熟且漏、冬季亦有混度很低的降候，因此必须靠nine来控制引人外氧之瀑度，藉 以维持半等艘魔制程典洲净所需之相封漏度。 as 第五局海峡两岸制冷空调技术交流会 MAU之除潺，通常是靠冷却除潺姐管，牌虚理空氟降温至渊净室要求之露默温度后，再以加熟盘管再 熟至所需温度。MAU之加潺，则必须先翘预熟，再靠加潺器来完成加漏;有畴候为了精密之漏度控制，亦 有先91加派器加振后，再以冷却除潺M管做微量冷却除潺者。 MAU丸半尊艘厥最主要之耗能毅满，以某八Qt晶圆魔之冷谏容量需求为例，忽冷谏容量为9,IOORT, 其MAU冷却除漏盟管虑理空氧所需之冷谏容量即高速4,70ORT。如何减少MAU之耗能，先