二维影像式机台之尺寸追溯方法研究-自动光学检测设备联盟-工研院.PDF

二維影像式機台之尺寸追溯方法研究 唐忠基 工研院量測技術發展中心 cctang@itri.org.tw 新竹市光復路二段 321 號 8 館 摘要 本文針對二維影像量測儀提出具備追溯性之尺寸驗證方法，供產業界能 快速且便利的進行儀器校正。本方法是利用經追溯校正之影像標準片上的十 字線標靶，進行二維影像量測儀的定位準確度、移動軸直角度的驗證，解決 二維影像量測儀的校正與追溯問題。 關鍵字: 直角度 、影像量測儀 、校正 壹、前言 自動化光學檢查(Automated Optical Inspection ，AOI)技術運用機器視覺做 為檢測標準技術，作為改良傳統上以人力使用光學儀器進行檢測的缺點，已廣泛 被應用在各行各業的品質檢測上，如半導體製造、封裝或薄膜電晶體液晶螢幕製 造 1,2 、印刷電路板(Printed circuit board)製程的研究開發與精密光罩的製造， 或是新興太陽電池產業等 ，這些種種生產製品的檢測方式，同時要求高精度與快 速，都是光學影像技術所擅長；高精確度光學影像檢測系統，包含量測鏡頭技術、 光學照明技術、定位量測技術、電子電路測試技術、影像處理技術及自動化技術 應用等領域，但在量測鏡頭技術與定位量測技術的標準追溯上，尚未建立完整追 溯體系，如二維尺寸精確度與直角度量測 。 本文提出運用標準的影像標準片 ，由待測二維機台去量測出十字標靶的平面 座標，以確認二維平面是否滿足迪卡爾座標系統 ，解決傳統量測方法無法同時獲 得兩軸正交的問題。達到傳遞二維標準到國內光學檢測機台，提高其機台精確度 與影像定位檢測技術。 一般機台之組成架構以橋式三座標量測機加一視覺量測系統 ，以圖 1 Ultra QV404 為例 3 。其主要架構型式為橋架固定式 ，X 軸跨在橋架上移動，獨立工作 台可做 Y 方向移動，兩軸採獨立驅動互不相干擾。主體結構為高精密度花崗岩結 構穩定，抗振性能力佳 ，使顯示讀值穩定，XY 移動軸採為靜氣壓設計以空氣軸 承做支撐，以達到最小的直線度誤差，使用無背隙滾珠螺桿採用中央軸承驅動裝 置有很好的定位重複性 。一般機台(如圖 2)採用滾珠螺桿和線性滑軌組合成定位 承載滑台 ，也有使用線性馬達及線性滑軌組合設計，主要目的為減少背隙産生 ， 機構尚有無背隙聯軸器直接連結馬達與滑塊也是一種方法 ；光學尺採用低膨脹材 料以克服環境溫度變化之影響 ，但是一般則以玻璃材料做光學尺，需要考慮修正 熱膨脹量 ，而熱膨脹量往往是影響尺寸精確度最大的因素。有些機台為減少熱膨 脹量，一般在三軸上採用油冷卻設計以降低熱摩擦，或將機台置於有環境控制之 恆溫室。 照明系統採背後照明(Back Lighting)對不透明物體提供對比甚佳的輪廓影 像。光源在物體的背面，攝影機在正面擷取影像，對比性最強。此方式適用於著 重物體邊緣輪廓、外形的目標物，用於定位、量測尺寸。本文即採背後照明方式。 二維影像量測儀的量測範圍為 400 mm × 400 mm ，行程解析度 0.01 μm ，鏡 頭倍率採 5 倍目鏡為 6 倍共放大 30 倍，電荷耦合元件 (charge-coupled device) 為面型像素 1680 pixel × 1280 pixel ，換算每一像素為0.18 μm ，再經次像素 分析可解析到 0.03 μm 。一般二維影像儀採用攝影機為 30 萬畫素換算每一像素 ~ 1 ~ 為 1.8 μm ，大部分採用解析度0.1 μm ，規格為2+L/400 ，L 為量程單位 mm 。 圖 1 Ultra QV404 影像量測儀 圖 2 2D3D 量測設備 貳、研究方法 一般機台的精度要求為一維尺寸與二維參數 ，一維尺寸精確度指的是 X 軸 或 Y 軸之位移是否正確，二維參數指的是 X 與 Y 軸所