sbzb008项目需求.DOC

附件1：NJTECH2017-SBZB008项目需求 包一 膜反应器评价系统 1套 一、功能要求： 1、功能：主要用氧化铝平板陶瓷膜氧化物改性沉积P，同时 2、整个系统能稳定操作，在氧化铝平板陶瓷膜的整个端面（贯穿整个孔道）可均匀沉积氧化铝及Pd（扫描电镜观察）。 3、工作条件及总体要求 3.1、对实验室环境条件无特殊要求和限制 3.2、设备必须具有良好的操作性，方便的维修性，可靠的安全性 3.3、设备具有较好的可升级条件，方便维修，安全可靠，需提供可配置、扩展的液态源、加热源和气态源的数量总数。 技术指标要求： 反应腔 ★1.1、腔体内气流方向垂直于样片，气流通过范围局限于样片范围配备样片夹具：样片尺寸直径31.66 mm，高度mm左右且可调，样品与之间密封，避免气流样品与之间的缝隙底部需要放置多孔不锈钢网。 腔体材料为316 L不锈钢，确保反应腔内部温度。 腔体加热温度：室温00 °C，控制精度：±1 1.4、使用高温密封系统，隔绝其他气体渗漏 1.5、配备气相分流器，使前驱体在短时间内充分饱和吸附 2、前驱体源管路 ★2.1、 配备4路，工艺管路独立的惰性气体吹扫管路，且由独立质量流量控制载气流量 2.2、工艺管路每个ALD阀门配备独立加热及保温系统，室温200 °C，控制精度：±1 2.3、前驱体源管路与反应腔体之间必须配备加热保温系统，室温~200 °C，控制精度：±1 2.4、所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口。 3、真空系统配备真空泵，抽速不小于4L/s，本底真空0.1 mbar 4、产品分析系统：配备气相色谱，分析苯酚加氢产品。 5、臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路、流量控制配件。 6、控制系统： 6.1、沉积由电脑程序控制。 6.2、控制程序具有集成整合界面，能在同一界面中实现对沉积参数、沉积循环次数、温度、载气流量等方便地进行控制。 6.3、沉积程序应方便选取前体管路，以实现复合物、多层交替膜的沉积。 6.4、控制程序具有对温度、工作压力等参数的实时检测功能，具有可靠的保护功能，以防止CVD反应而污染设备。 6.5、控制程序应具有一定的记录功能，以实现对沉积过程的跟踪，方便查找故障。 三、其他要求： 1、交货期：合同生效后个月 2、安装调试：在买方现场安装、调试系统和培训；卖方应配合买方的安装工作，提出所需的安装基本要求，如提出的安装要求不合理，而造成工程二次改造，卖方需承担责任，并根据安全和消防原则设计合理的设备空间布局。 3、仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后2周内执行安装调试直至达到验收指标。 4、技术培训：为保证买方技术人员能正确操作，卖方应对买方技术人员进行全方位的免费培训指导工作，能使买方技术人员掌握设备操作技术，保证设备正常运行并能较为熟练地排除设备的一般故障。 5、维修响应时间：卖方应在24小时内对用户的服务要求做出响应，需要到现场的两个工作日内到现场，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。 6、保修期：整机提供至少1年保修，厂家直接负责。 7、在质保期结束时，须有卖方专业工程师对设备进行一次全面的检验测试，如有缺陷须有卖方自费负责修理。在修复后，卖方须将缺陷原因、补救措施、完成修理以及恢复正常运行的时间和日期等以书面形式报告给买方，由买方确认。 8、质保期满后，卖方也应向买方提供及时的、优质的售后服务和易损件、备品套件供应；质保期后设备若出现故障，卖方应在接到通知后72小时内到达买方所在地进行处理。 9、所有配件须注明品牌型号，并标明报价。 包二 激光雕刻机（允许进口，1套） 技术指标要求： 1、放置工件尺寸：大于660x360mm。 ★2、激光源：激光功率不低于50瓦；功率0-100%连续可调。 ★3、镜头：配高功率密度镜头，光斑可达0.001英寸。具备在有机玻璃等材料制作38微米的光洁细微通道（验收时需依据用户图纸要求打样合格）；满足条件需提供以上实物样品待核查。 4、平台：具有3种不同平台工作；铝刻度平台，蜂窝切割台，Pin支架平台。 5、气流辅助装置：保护镜头及提高加工精细度。 ★6、精度控制：0.01mm，Z轴自动升降控制；控制参数软件能看到可检测。 7、定位方式：两种，可手动和电脑自动控制。 8、系统功能：盖板为夹层安全玻璃；过温保护报警（防火），设备工作温度超45度将报警，并停止激光工作；多重自动聚焦模式；高精度数字监视器；多种语言支持。 9、操作软件：智能操作软件，具备加工材料数据库参数，能估算工作时间，具有故障诊断界面，可在线终身免费升级。配一键成像软件。 10、兼容软件：兼容各种图形软件，如CorelDraw, Illustrator，AutoCAD, Adobe PhotoShop, Microsof