原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
《铁机》激光直写制作的小F数连续浮雕衍射透镜轴性分析
第29卷第11期 光 学 学 报 V01．29，No．11
2009年11月 ACTA0PTICASINICA
文章编号：0253—2239(2009)11-3192—05
激光直写制作的小F数连续浮雕衍射透镜轴向
聚焦特性分析
单明广1’2 钟 志1 郭黎利1 智 佩1
1哈尔滨工程大学信息与通信工程学院，黑龙江哈尔滨150001
／ 、
＼2哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江哈尔滨150001，
摘要为确定卷积效应以及深度制作误差对小F数连续浮雕衍射透镜(DOE)轴向聚焦特性影响，基于瑞利一索末
菲衍射理论建立了激光直写制作的连续浮雕衍射透镜非旁轴近似轴向光强分布模型。该模型考虑了连续浮雕衍
射透镜的轴向衍射聚焦特性与透镜结构参数、写入光斑尺寸和扫描间距以及深度制作误差的关系，克服了傍轴近
似条件下传统模型的不精确性。为验证模型的正确性，用激光直写制作了设计波长为441．6nm，F数为4以及相
位匹配因子为3的连续浮雕衍射透镜，并测试了波长441．6nm激光入射时透镜的轴向聚焦特性。实验与分析表
明，该模型分析结果与实验测试结果符合，从而证实模型的有效性，为激光直写制作的小F数连续浮雕衍射透镜的
应用提供了理论依据。
关键词小F数连续浮雕衍射透镜；轴向聚焦；瑞利一索末菲衍射理论；激光直写
中图分类号0436．1 文献标识码A doi：10．3788／AO3192
Axial CharacteristicsofLowF-NumberDiffractive
Focusing Optical
ElementswithContinuousReliefFabricatedLaserDirect
by Writing
Shan ZhilGuoLililZhiPeil
Mingguan91·2Zhong
1 andCommunications
Information EngineeringCollege，HarbinEngineeringUniversity，
150001，China
Harbin，Heilongjiang
2
Ultra—PrecisionandElectronicInstrument Center，HarbinInstitute
Optical Engineering ofTechnology，
150001，China
Harbin，Heilongjiang
AbstractInorderto theeffectofconvolutioneffectandfabricationerrorsontheaxial characteristics
study focusing
of10W
F—numberdiffractiveelements(DOE)withcontinuousrelieffabricated1aserdirec
文档评论（0）