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还原炉改进一个途径
还原炉改进的一个途径
提高多晶硅产量、降低能耗主要还得在还原炉上做文章，如何提高还原炉的产能？如何降低还原炉的电耗？
德国一家公司提出了这么一种思路，由于银具有较低的发射率和较强的耐化学腐蚀性能，因此将还原炉内壁镀银，可以提高10%的产能，降低25%以上的电耗。
该公司分别对内壁不锈钢镀银和内壁不锈钢抛光的两种还原炉进行了三维计算机模拟，还原炉的规格为：18对棒，内径1500mm，钟罩高度3200mm。硅棒直径长到130mm时，单炉产量为2434kg。
????计算机仿真的内容包括：
????气体的流场和传热；
????硅棒加热时的电阻；
????热辐射；
????设定硅棒直段的最大温度以保持两种炉子硅棒表面爆米花的程度大致相同。
????计算机仿真结果显示如下：?
工艺参数
钟罩内表面
考核产量（kg）
2434
2434
达产时间（hr）
90.2
81
沉积时间（hr）
27
30
能耗（kwh/kg）
64
46
????从上表可见，能耗节省28%，产量提高10%，因此在钟罩的不锈钢内表面镀银对热反射更为有效。
????下图为硅棒直径长到130mm时的热辐射情况：
?????????????????????????不锈钢抛光炉壁???????????镀银炉壁
?国内已有多晶硅企业引进此种类型还原炉，这也为其他多晶硅企业增产节能降耗提供了一个有益的借鉴。??????????????????????????????????????——发于美国俄亥俄
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