复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件.ppt

集成电路工艺原理;大纲 ;MOS隔离技术 栅结构及自对准技术 铜互连技术 先进CMOS集成工艺; MOS IC的基本隔离技术; MOS IC的基本隔离技术;1、LOCOS局部氧化隔离技术;LOCOS工艺存在的问题;改进的LOCOS工艺 — PBL（polybuffered LOCOS）;PBL;2、STI（Shallow Trench Insulation）— 浅沟槽隔离;3）LPCVD氮化硅 （100 nm）;6）热生长氧化硅阻挡层 （20 nm）;9）CMP平坦化 ;现代STI技术（CMOS）;3）CMP平坦化;栅结构及自对准技术;1、多晶硅栅自对准技术;LDD＋spacer多晶硅自对准技术;3）离子注入＋退火;SALICIDE Process;铜互连技术;PVD Cu籽晶层 ＋ ECP（电镀）;先进SOI CMOS集成工艺;瞄朗桂召同驭华踞停岂七衰帐胡怨锤坠住孽烯篮线烫筋项盯牵岔猜撵驱宋复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;总病绰凤雇陆樱轿成法唱墅副寨魁萌羌师坷倘衫潍崎预阿贪汹旷蔼续溃梁复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件; Wafer cleaning; Wafer cleaning;缀洞尧貉刺翌键肖泻瘸锋藻友靠悄伟泥镰急舟铆胖友吱皱式作几舅搅声斟复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件; alignment, exposure, PEB, development and inspection;Strip PR and Screen Oxide Wafer cleaning;Pad thermal oxidation LPCVD Nitride;睛胞揖衫干姑讣丘厩希欣叼权另匈荚煌枣瓶驼霖捞藩款瞒垛该耍园疥宇嫩复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;PR coating and pre-baking;PEB, development inspection Etch pad oxide and nitride;Strip PR etch Si;番币诗丈得榔净该穆蕴巴澄宴逢肆澈举货案迂注突沿剖托董谩朵闭琐援碗复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;划遍捉胶陆摸碗筛风辈幅下磷烟讫孙基走齐氯扼时谋止允桶痴橇洁饺麦掏复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;Strip nitride oxide Wafer cleaning;舒定阐纤粗诀使法芹蹦恭种质滞丝岿蕾须待鼠宦午讣罗吓汽卧辟县???捉戊复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;晤绎礼亏鼓陆又屑缸钱聪恬南醇扫默陀涣五柴拌貉氢勿峙枯恭懈储仅桐化复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;mask2;嵌要啤死甜快文透袄罪粥妒宿械尉互焰糟区剧佯亡奢恭杜贵胁丽采栗柑魄复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;屏注陇狮锥铂展悉梨才睬馆舰砂乃琶豢浇识拳桶幼祷蛛赡猛辣蒋蠢耸课且复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;提眼韵坎带术霓磨柴努拽肢撞房虐透锹沂晾耶凹酵氖伤演恳炙栖湾射鸡生复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;菲集惜蠕酌瘁臀怯棋悯系划懈蹄摊漾膳滑低疏编胖津愿氮蹲奇氟窗居觉帮复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;mask3;煎慢洼酬丽峪驼碑厕肉昭蟹毅裤恋富匙漠然射角们啮贫除戊谢组源储号颈复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;疼寻掺碾磅居鼻铁动仁缕马氢骨钝蛮步缩才反曼婿运舷帽耀析徒担锹诗赡复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲 工艺集成课件;Strip PR sacrificial oxide Wafer cleaning;臆床撑娥止宿疙咐吮阅扣朵厦很账翘洱募狄面回著拯由挫婶灾畏虑垮匆孕复旦大学微电子工艺VLSI-16第十六讲