.第四章电容传感器.pptVIP

硅微加工加速度传感器 图示加速度传感器以微细加工技术为基础，既能测量交变加速度（振动），也可测量惯性力或重力加速度。其工作电压为2.7～5.25 V，加速度测量范围为数个g，可输出与加速度成正比的电压也可输出占空比正比于加速度的PWM 脉冲。 硅微加工加速度传感器原理 1—加速度测试单元 2—信号处理电路 3—衬底 4—底层多晶硅（下电极） 5—多晶硅悬臂梁 6—顶层多晶硅（上电极） 利用微电子加工技术，可以将一块多晶硅加工成多层结 构。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。 当它感受到上下振动时，C1、C2呈差动变化。与加速度测试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将ΔC 转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内，所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小，且悬臂梁的质量很轻，所以频率响应可达1 kHz以上，允许加速度范围可达10 g 以上。 如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。 加速度传感器在汽车中的应用 装有传感器的假人 气囊 * 加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时， 微处理器据此判断发生了碰 撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 汽车气囊对驾驶员的保护作用 机械式油量表： 4.3.4 油箱油量检测系统 在油箱内，装有类似卫生间水箱里的浮球，通过杠杆带动电阻丝式圆盘电位器，由电流表指示出油量。 电容式油量表 当油箱中注满油时，液位上升，指针停留在转角为?m处。当油箱中的油位降低时，电容传感器的电容量Cx减小，电桥失去平衡，伺服电动机反转，指针逆时针偏转（示值减小），同时带动RP的滑动臂移动。当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，伺服电动机停转，指针停留在新的位置（? x 处）。 该油量表属于开环系统还是闭环系统？ 图4-17 圆柱形电容式接近开关的结构示意图 1—检测电极； 2—充填树脂； 3—测量转换电路； 4—塑料外壳；5—灵敏度调节电位器； 6—工作指示灯； 7—信号电缆 * 4.3.5 电容式接近开关 2.电容式接近开关的工作原理 当被测物体接近检测电极时，被测物体会受到静电感应而产生极化现象，被测物体越接近检测电极，检测电极上的电荷就越多。由于检测电极的静电电容C＝Q／U，所以电荷的增多，使电容C随之增大，从而使高频振荡电路的振荡减弱，甚至停止振荡。 电容式接近开关外形 齐平式 非齐平式 非齐平式接近开关的安装 非齐平式安装时，传感器高于安装支架，易损坏。 全密封防水式 远距离式（大量程） 3.电容式接近开关的应用 1）谷物高度测量 2）接近报警器 图4-20 接近报警器的电路原理图 * * 第4章 电容式传感器 第四章 电容传感器 * 4.2 电容式传感器的测量转换电路 2 4.1 电容式传感器的工作原理 1 4.3 电容式传感器的应用 3 知识目标： （1）了解电容式传感器的分类及特点。 （2）掌握电容式传感器的工作原理及测量转换电路。 （3）熟悉电容式传感器在工程上的应用。 教学目标 技能目标： （1）能够根据检测要求选择合适的电阻式传感器。 （2）能够正确使用电容式传感器进行位移测量。 （3）能够正确维护常用电子检测设备。 情感目标： （1）养成良好的工作责任心、坚强的意志力和严谨的工作作风。 （2）培养良好的合作精神、创新精神和竞争意识。 教学重难点 教学重点： 电容式传感器的工作原理和应用。 教学难点： 电容式传感器的测量电路。 4.1 电容式传感器的工作原理 电容传感器的基本理想公式为： d A ε A:极板正对面积 d:两极板间的距离 ε:两极板间介质的介电常数 εr：相对介电常数 ε0：真空介电常数 改变A、d、? 三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量C 改变。固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器。 变极距(δ）型: (g) 、（h） 变面积型(A)型: (a)、(b)、(c)、(d)、 (e) 、(f)、 变介电常数(ε )型: （i）～(l) 4.1.1变面积式电容传感器 （a）角位移式电容传感器 图4-3 变面积式电容传感器的原理图 图a是一个角位移式的结构。极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移? 度时，两极板的遮盖面积A就减小，因而电容量也随之减小。 两极板间的电容： 电容的变化量为： （b）直线位移式电容传感器 图b是平板