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精 密 仪 器 设 计 Design of Precision Instrument;*;;(3) 电路处理与计算机控制 ——信息处理、变换与存储显示及模块控制等。 功放、A/D、D/A、 DSP、 FPGA、CPLD 、F/V I/O、LED、LCD等 。;(4)电机及驱动系统 电机——直流电机、交流电机、直线电机、力矩电机、音圈电机（Voice Coil Motor）、步进电机（Stepping Motor）、纳米电机（Nanomotion）等。;被测对象;三、光学系统设计;光电探测器;3.2 光电探测器的选择原则;3.3 光源及照明系统;2．光谱功率谱分布 光源输出的功率与光谱有关，即与光的波长 有关，称为光谱的功率分布。常见的有四种典型的分布。 ;3．空间光强分布特征 ; 任何物体，只要其温度在绝对零度以上，就向外界发出辐射，称为温度辐射。黑体是一种完全的温度辐射体，其辐射本领 表示为： 式中， 为辐射本领； 为吸收率，当 时的物体称为绝对黑体。 ;; 二、光电测量中的常用光源 ;利用气体放电原理来发光的光源称为气体放电光源。 特点： 发光效率高，比白炽灯高2～10倍，可节省能源。 结构紧凑，耐震、耐冲击。 寿命长，大约是白炽灯的2～10倍，可节省能源。 光色范围大，如晋通高压汞灯发光波长大约为400～500nm， 低压汞灯则为紫外灯，钠灯呈黄色（589 nm），氙灯近日色，水银荧光灯为复色。 气体放电光源经常被用于工程照明和光电测量之中。 ; 在电场的作用下使半导体的电子与空穴复合而发光的器件称为半导体发光器件（注入式场致发光光源），通常称为LED。;常用发光二级管材料及性能如下表所示。 ;能激发出激光并能实现激光的持续发射的器件称为激光器。 激光特点：单色性好，相干能力强，方向性好、亮度高，在光电测量中常用作相干光源。 激光器三大要素：激光工作物质，激励能源和光学谐振腔。 激光器分类：固体激光器、气体激光器和半导体激光器。 激励系统：光激励、电激励、核激励和化学反应激励等。 光学揩振腔用以提供光的反馈，以实现光的自激振荡，对弱光进行放大，并对振荡光束方向和频率进行限制，实现选频，保证光的单色性和方向性。 ;He-Ne气体激光器-----激光单色性和方向性好;（2）功率。 光电测量中所用的He-Ne激光光源功率一般在几到十几mW。 （3）稳功率和稳频。 He-Ne激光器输出的功率变化较大，在精度较高的光电测量 中，应对He-Ne激光器稳功率。此外，在相干测量中光的波 长是测量基准，因此要求波长很稳定，即要采用稳频技术。 另，稳频对稳功率也有作用。 （4）激光束的漂移。 虽然He-Ne激光具有很好的方向性和单色性，但它也是有漂 移的，当作用精密尺寸测量和准直测量时尤应注意。;;三、照明系统;1. 直接照明：按照明方法分为透射光亮视场照明，反射光亮视场照明，透射光暗视场照明，反射光暗视场照明，分别如图a、b、c、d所示，图中阴影部分为照明光场。按光源类型分为白炽灯照明、光纤照明等。 ;2. 临界照明：光源的光通过聚光镜成像在物面上或其附近。;3．远心柯勒照明：集光镜将光源成像到聚光镜的前焦面上，孔径光阑位于聚光镜的物方焦面上，视场光阑被聚光镜成像到物面上。; 4．光纤照明 ：因照明均匀、亮度高、光源热影响小而得到广泛应用。根据照明光线端部排列形式和光束出射方向，分为环形光纤照明和同轴光纤照明等。;5．同轴反射照明 ：光源发出的光经过物镜投射到物体上，物镜本身兼做聚光镜。物镜将物面成像到CCD的光敏面上。; 四、光源及照明系统的选择 ;在精密测量中，被测对象一般都不是发光体，所以必须进行人工照明，使被测物体达到一定的照度； 在以光电元件为接收器的仪器中，被测物体光照强度有利于提高信噪比及后继电路的处理； 在目视仪器中，视场应有足够的照度，这在大屏幕投影测量系统中问题较为突出。 应根据使用要求及接收器的性能来考虑对光源的光强要求。; 在临界照明系统中，将灯丝（发光体）成像在被测物面上，因 此灯丝发光面的形状与被测物相似才能获得均匀而有效的照明； 在柯勒照明中，灯丝的像成在系统的入瞳上，若使灯丝（发光 面）的形状与入瞳相似，就能充分利用入瞳的孔径而传