聚乙二醇对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 聚 乙二醇对纳米 多孔二氧化硅 薄膜性 能 的影 响 王 娟 , 张 长 瑞 , 冯 坚 国 防 科 技 大 学航 天 与材 料 工 程 学院 新 型 陶 瓷 纤 维及 其 复合 材 料 国防科 技 重 点 实 验 室 , 湖 南长 沙 以聚 乙二 添 , 正硅 乙 , 用 一 、 摘 要 醇 为 加剂 酸 酷 为先驱体 采 溶胶 凝胶法 结合 一 旋转涂胶和 超 临界干燥等工 艺在 硅 片上制备 了纳米多孔 薄膜 利 用 、 、 和椭偏仪研 究 了该 薄膜 的性 能 与未加 的 薄膜相 比, 加入 得 到 的 薄膜表面粗糙度增大, 但孔 隙率较高 , 介 电常数可 降至 以下 参与并修饰 了 一 , 的溶胶 凝胶过程 加入 制备 的 薄膜 因含有 一 基 团而呈亲 水性 该薄 膜经三 甲基氯硅烷 修饰后 为疏水性 一 关 键 词 纳米 多孔二氧化硅 薄膜 溶胶 凝胶 聚 乙二醇 低介