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钛酸锶钡薄膜中微观结构缺陷及其形成机理-青岛大学
第27 卷 第3 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 27 No. 3
2012 年3 月 Journal of Inorganic Materials Mar., 2012
文章编号: 1000-324X(2012)03-0285-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.00285
钛酸锶钡薄膜中微观结构缺陷及其形成机理
1, 2 1, 2 1 2 2
李春艳 , 刘雪华 , 刁飞玉 , 梁文双 , 王乙潜 ,
3 3
PETROV Peter , ALFORD Neil
(1. 青岛大学 化学化工与环境学院; 青岛 266071; 2. 青岛大学 国家重点实验室培育基地, 青岛 266071; 3. De-
partment of Materials, Imperial College London, London, SW7 2AZ, UK)
摘 要: 采用脉冲激光沉积方法, 在(001)单晶铝酸镧(LaAlO )衬底上成功制备出钛酸锶钡(Ba Sr TiO )外延薄膜.
3 0.75 0.25 3
利用高分辨电子显微学对其微观结构进行了详细研究, 并探讨了其微观结构缺陷的形成机理. 研究发现, 在钛酸
锶钡外延薄膜中存在失配位错和穿透位错, 且存在直线型和锯齿型的两种反相畴界. 失配位错是由于钛酸锶钡薄
膜与 LaAlO3 单晶衬底之间存在较大的晶格失配形成的, 可分解为不全位错; 穿透位错可以分解为不全位错伴随有
堆垛层错的形成. 反相畴界的形成是由于衬底表面存在台阶, 直线型反向畴界是由于形核点离台阶处较近产生的,
而锯齿型反向畴界是由于形核点离台阶处较远而形成. 研究结果可为其它钙钛矿型外延薄膜中微观结构缺陷的形
成机理提供理论指导.
关 键 词: 钛酸锶钡外延薄膜; 高分辨透射电子显微学; 微观结构缺陷; 形成机理
中图分类号: O483; O484; O766 文献标识码: A
Microstructural Defects and Their Formation Mechanisms in Ba0.75Sr0.25TiO3
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