N2O：对磁控溅射TiOyNx选择性吸收薄膜.PDF

N2,O:对磁控溅射TiOyNx选择性吸收薄膜 光学性质的影响 陈达 ‘汪保卫 ’沈辉 ’ (1华南理工大学材料学院，广州510640;2中国科学院广州能派研究所) 摘要:光讲选捧性吸收薄膜的制备是太阳能集热器高效吸收太阳能的关健技术.本文枕 磁控减射制备氮化钦膜中Nz,02流圣变化对溅射过程及膜的性能的影响进行了讨论. 关锐词:选择性氮氧化钦 吸收率发射率 K 1、引言 太阳能的热利用中吸收薄膜对集热器的集热效率影响显著。薄膜的太阳辐射吸收率越 大，热辐射率越小则热效率越高。选择性吸收薄膜就是对太阳的短波辐射具有良好的吸收性 而本身只有少量的辐射的表面.它主要借助半导体薄膜的吸收作用和衬底金属表面的红外反 射特性设计而成的。 目前文献上发表的选择性吸收涂层系统相当多，但是同时具有高的光热转换效率和持久 稳定性的涂层并不多。氮化钦 (TiNx)薄膜熔点高、硬度大，摩擦系数小，质地坚硬，耐 腐蚀，特别广泛的应用于机械加工业和装饰业。在适当调整氮的含量，以及引入少量的氧， 所形成的TiOyNx腆会表现出对太阳光谱很好的吸收性。因为过渡金属氮化物具有半导体和 导体的许多性质。过渡金