MEMS电容加速度计概要.pptVIP

* ⑵、电容传感器的灵敏度： 有的定义相对灵敏度： 灵敏度S是d0的函数，d0 越小，灵敏度越高，但d0减少，非线性增大。 ⑶、非线性误差分析： 在 中只取2次项 则相对非线性误差为： 变面积式的电容式MEMS器件原理 如图（2-1）表示通过动板极移动，引起 两极板有效覆盖面积S改变，使电容变化。 电容相对变化： 灵敏度为： 注意：极板移动时，一定要保持d不变。 b l 图2-1 见图（ 2-2） 其中a为齿宽，b为y方向的宽度 注意：△x＜a时成立，无限远的运动会形成周期性变化。 x a y 图2-2 变介电常数的电容式MEMS器件原理 如图3-1，在电容器板间通过厚为d，相对介电常数为 εr介质，电容为 ,若通过的介质相对介电 常数增加△εr，列如湿度增加，成分变化时，电容增 加为： 为灵敏度因子； 为非线性因子； （3-1） a d 图（3-1） 将（3-1）式展开为： N2、N3都与d/（a-d）有关，此值愈大灵敏度愈高，非线性愈小 图（3-1）也可用来测量介电材料厚度的变化，这时εr为常 数，d为自变量，则： 其中： 在 的情况下 （3-2） 展开（3-2）得： （3-3） N4既是灵敏度因子，又是非线性因子 微加速度计的技术现状和发展趋势 MEMS加速度计行业前景 美国iSuppli发布的MEMS市场调查结果，2013年加速度传感器将成为MEMS市场上最热门的产品，加速度传感器市场2008～2013年将以年均10％的增长率增长，2013年的销售额将达到17亿美元。从价格上看，占据全球50%加速度计市场ST公司的最近推出的高端LIS3DSH传感器于2012年第一季度开始量产，1000件的单位定价1.2美元 。它是全球首款推出±2g、 ±4g、 ±8g、 ±16g全量程覆盖三轴线性加速度计，预计出货量将达到16亿颗，而在智能终端这种对性能指标要求不是非常高的领域，价格在早在2008年底就已经跌到1美元以下，并且已经成为智能终端的标准配置。 ? 在汽车安全管理系统中，装有安全气囊加速度计的汽车电子控制系统的失败率必须低于50ppm（50/1百万），汽车制造商采用可靠、高性能但相对昂贵的加速度计。例如，电子控制系统中测量横向加速度的加速度计要5美元以上?。飞思卡尔的用于一个安全气囊就用6个加速度计传感器。 在高铁、民用航空、航天系统、导弹、卫星导航等高尖端领域，加速度计更是不可或缺的器件。 微加速度计的最新产品 Bosch在2012推出了最新的三轴MEMS加速度计 BMA280/BMA255 分辨率： 14位， 封装及尺寸： 2*2mm LGA(触点阵列), 制作工艺 ：200mm晶圆， 可检测最小加速度数值：0.25milli-g 集成了FIFO缓冲区和先进的中断机制 噪音仅为：120 micro-g/vHz和150 micro-g/vHz 以最大速率传输数据时电流只有130mA 省点模式时功耗甚至可低于10mA 接口：SPI(3-or-4wire)和IIC 工作温度：-40~+85度 特点：目前市场上还没其它2*2mm的加速度计能够保持如此低噪音和高灵敏度 VTI单轴模拟输出加速度传感器SCA610-C28H1A 技术特征 轴数：1轴（水平） 带宽： 50HZ 灵敏度：1.2V/g 温漂： ±0.6mg/°C 量程：±1.7g 工作温度 -40~125℃ 输出噪声 ：直流工作下，最大为5mV RMS 供电电源：4.75V~5.25V 功耗：4mA 主要应用场合：SCA6x0系列加速度计目标市场是 汽车行业，所以根据汽车行业的可靠性、稳定性要 求所设计、生产和测试的。 该系列的加速度计传感 器具有显著的负载能力和非常好的冲击耐久性。 中国电子科技集团公司第十三研究所研制的MSA009系列 量程：±2g~10g量程 分辨率：在500Hz下为0.3mg 噪声：20μg/Hz 带宽（-3db）0-2000可调节 非线性：0.8% 外形尺寸：10.46*7.65*2.54mm 封装：陶瓷封装 工作温度 ：-40~+60℃ 特点： 2011年