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以高定向的高溫分解石墨使用於導電原子力顯微鏡探針Nano-machining of highly oriented pyrolytic graphite using conductive atomic force microscope tips and carbon nanotubes 班級：奈米四乙 組員：4a014906 張景翔 4a014105 徐政傑 指導老師：莊承鑫 作者:Jin Gyu Park,Chuck Zhang, Richard Liang and Ben Wang IOP PUBLISHING Nanotechnology 18 (2007) 405306 (6pp) doi:10.1088/0957-4484/18/40/405306 Received 10 July 2007, in final form 15 August 2007 Published 17 September 2007 Online at stacks.iop.org/Nano/18/405306 0957-4484/07/405306+06$30.00 ? 2007 IOP Publishing Ltd Printed in the UK 目錄 摘要 介紹 實驗流程 孔加工與IV測量 多壁奈米碳管探針 結論 摘要 低於100奈米的孔在高定向的高溫分解石墨(HOPG)使用金屬表面塗佈的原子力顯微鏡探針和奈米碳管，HOPG做為基材而金屬塗佈矽原子力顯微鏡(AFM)探針做為另一個電極。 我們也探討一個獨立的多壁奈米碳管裝在AFM探針上進行奈米刻度等級的加工。不像角錐形狀的AFM探針，一個奈米碳管的高深寬比可能可以形成較深的孔甚至更小的表面直徑。 介紹 原子力顯微鏡被廣泛地應用在奈米級物體的成像。它的奈米級定位控制允許它被用來作為奈米光刻的工具。通常，AFM光刻使用像電壓導致氧化在金屬或矽表面上電子式的方法或是使用硬的探針直接在表面刮痕的機械方法，由於奈米碳管探針的小尺寸與高深寬比，也常取代傳統AFM探針被使用在奈米製程。 實驗流程 孔加工 孔加工 孔加工 上圖是孔陣列的截面分析。每個孔的直徑為70-140奈米、深度範圍由9至30奈米。 下圖是直徑為10奈米和深為0.34奈米孔陣列的截面分析。 I-V測量 了解孔加工的機械原理，I-V的特性是測量接觸式與細看殘缺。 I-V測量 I-V測量 測量I-V值後的AFM上視圖。 多壁奈米碳管探針 一多壁奈米碳管AFM探針是用於高精密加工。由於奈米碳管的高深寬比，一高深直徑比的孔可以被作為AFM探針。 此圖是場發射掃描電子顯微鏡(FE- SEM)奈米加工後的金屬塗佈AFM探針的圖像。典型的AFM探針在奈米加工後，探針末端被磨損以及輕微鈍化。 多壁奈米碳管探針 多壁奈米碳管探針 結論 電壓是影響此篇論文孔加工的因素之一 擁有高深寬比的奈米碳管探針比AFM探針更容易微奈米加工 翻譯論文使我英文能力突飛猛進 我離Tsmc又更進一步了