第2讲应变式传感器.ppt

例： 应变式传感器测容器内液体重量 (a) 微压传感器 传压杆 感压膜 应变式传感器测容器内液体重量 电阻应变片 （反、正两面共4片） E2 R1 R3 RL R2 R4 U0 R1 R3 RL R2 R4 E1 (b) 例 重量的自动检测--配料设备 比较 重量设定 原材料 原理：弹簧-力-位移 -应变片-电阻 例 煤气包储量检测 煤气包 钢丝 原理：钢丝-收线圈数 -电位器 -电阻 例 玩具机器人（广州中鸣数码 ） 原理：电机-转角 -应变片 -电阻 电阻应变式传感器的应用：测力 例 桥梁固有频率测量 例 电子称 原 理 将物品重量通过悬臂梁转化结构变形再通过应变片转化为电量输出。 例 冲床生产记数和生产过程监测 例 机器人握力测量 例 振动式地音入侵探测器 适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、打洞、爆破等破坏行为均可及时发现。 汽车衡称重系统 应变式数显扭矩扳手 可用于汽车、摩托车、飞机、内燃机、机械制造和家用电器等领域，准确控制紧固螺纹的装配扭矩。量程2~500N.m，耗电量≤10mA，有公制/英制单位转换、峰值保持、自动断电等功能。 * 小型压阻式固态压力传感器 低压进气口 绝对压力传感器 高压进气口 小型压阻式固态压力传感器 呼吸、透析和注射泵设备中用的压力传感器 p1进气管 p2进气管 固态压力传感器 投入式液位计 压阻式固态压力传感器用于投入式液位计：p1的进气孔用柔性不锈钢隔离膜片隔离，并用硅油传导压力而与液体相通。 投入式液位计外形（续） 压阻式固态压力传感器 光柱 显示器 橡胶 背压管 投入式液位传感器 投入式液位传感器安装方便，适应于深度为 几米 至 几十米，且混有 大 量 污物、杂质的水或其他液体的液位测量。 * 材料应变的测量 斜拉桥上的斜拉绳应变测试 传感器技术 第2章 应变式传感器 本章要点： 应变片—金属丝拉长，电阻增加，反之减少。 应变传感器—力传感器—贴在试件上的应变片的电阻 变化率与应变成比例。 半导体压力传感器可获得比金属大100倍以上的电阻 变化。 利用应变的传感器—重量传感器、压力传感器、粘度 传感器等。 电桥电路—平衡条件：R1R4=R2R3；用途：求未知电 阻值，记录电阻变化率、温度补偿； 欧姆定律、基尔霍夫定律：计算电路电压、电流。 第2章 应变式传感器 本章要点： 电阻式传感器的基本原理，转换电路。 了解不同电阻式传感器的结构、性能、灵敏 度差别，分别使用在哪些场合； 如何通过电阻式传感器测量力、压力、位移、 应变、加速度等非电量参数； 金属箔式应变片：直流单臂、半桥、全桥比较； 应用测量电路 传感器技术 2.2 压阻式应变片的基本工作原理 第2章 应变式传感器 压阻式传感器的缺点： 温度影响较大（有时需进行温度补偿） 工艺较复杂 造价高 2.2 压阻式应变片的基本工作原理 第2章 应变式传感器 压阻式传感器的应用： 航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。 2.2 压阻式应变片的基本工作原理 第2章 应变式传感器 扩散硅压阻式传感器的基片是半导体单晶硅。单晶硅是各向异性材料，取向不同其特性不一样。而取向是用晶向表示的，所谓晶向就是晶面的法线方向。 晶体基本知识： 2.2 压阻式应变片的基本工作原理 第2章 应变式传感器 晶向、晶面的表示方法 结晶体是具有多面体形态的固体，由分子、原子或离子有规则排列而成。这种多面体的表面由称为晶面的许多平面围合而成。晶面与晶面相交的直线称为晶棱，晶棱的交点称为晶体的顶点。为了说明晶格点阵的配置和确定晶面的位置，通常引进一组对称轴线，称为晶轴，用X、Y、Z表示。 ? C Z O B A X Y 1 1 晶体晶面的截距表示 硅为立方晶体结构，就取立方晶体的三个相邻边为X、Y、Z。在晶轴X、Y、Z上取与所有晶轴相交的某晶面为单位晶面，如图所示。 晶向、晶面的表示方法 第2章 应变式传感器 此晶面与坐标轴上的截距为OA、OB、OC。已知某晶面在X、Y、Z轴上的截距为OAx、OBy、OCz，它们与单位晶面在坐标轴截距的比可写成: 式中，p、q、r为没有公约数(1除外)的简单整数。为了方便取其倒数得: 式中，h、k、l也为没有公约数（1除外）的简单整数。依据上述关系式，可以看出截距OAx、OBy、OCz的晶面，能用三个简单整数