远心分离技术在电子工业领域的应用 solid and liquid separation technology in electronics industry domain application.pdfVIP

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2017-08-17 发布于上海
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远心分离技术在电子工业领域的应用 solid and liquid separation technology in electronics industry domain application.pdf

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远心分离技术在电子工业领域的应用 solid and liquid separation technology in electronics industry domain application

电子工业专用i殳备 ·IC制造工艺与设备· 远心分离技术在电子工业领域的应用康建兵 (上海松下等离子显示器有限公司，上海201206) 摘要：在等离子屏、LCD、TFT等平板显示器生产电子工业领域中，曝光显影是生产工艺中的重要组成部分。由于各类显影废液中含有多种化学成分和昂贵的工业原料，因此进行显影废液的处理与再生对生产成本的控制及环境保护都是相当重要的环节，远心分离技术正是在这种背景下被引入到该领域，并且取得了很好的环保效果和极高的经济效益。关键词：等离子屏；显影液；远心分离系统；固液分离机；振动；SS分析法；分离量中图分类号：TN605 文献标识码：B Solidand inelectronics Liquidseparationtechnology ‘ _ 1 ‘ ■● J● domain industry aDDljCatlon KANG Jian—bing MatsushitaPlasma (Shanghai DisplayCo．Ltd，Shanghai，201206，China) and in Abstract：In electronicsdomainsSOon flat—paneldisplayproduction industry plasmascreen， is inthecraftthe constituent．Becausein LCD，TFT，theexposuredevelopmentproduces important eachkindof waste includeskindsofchemical andthe developmentliquid many compositionexpensive rawmaterialfor carriesonthe waste andthe liquidprocessingregen— industry．Thereforedevelopment the allisthe link． erationto costcontrolandtheenvironmental production protection quiteimportant Thesolidand is isintroducedunderthiskindof liquidseparationtechnologyprecisely background this hasobtainedthe environmentaleffectandthe e- domain，and