原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
在光阻材料中过滤器吸附机制的作用 the filter adsorption mechanism in photoresist materials
堑 鱼茎塑鱼 蚕 团
在光阻材料中过滤器吸附机制的作用
TetsuKohyama
(ENTEGRIS，INC．，BillericaMA01821，USA)
摘 要：近来尼龙过滤被广泛用于光刻工艺流程来改善 良率，因为许多IC和光阻制造商有实验
性证据表 明尼龙滤膜能吸附杂质。然而，尼龙滤膜降低缺陷的机制 尚不清楚。通过致力于特定的
光阻成分来研究不 同的缺陷发生机制是十分有用的。
利用表面改性和不同的光阻成分进行 了各种吸 附试验来测量尼龙滤膜的耐受性 ，包括表面
张力，光酸发生剂和光酸抑制剂。最后 ，研究希望通过致力于如何最佳贯彻尼龙过滤策略来确定
最有效的方法提高良率
关键词 ：光阻材料 ；过滤器 ；吸附试验 ；尼龙滤膜耐受性
中图分类号：TN108．5 文献标识码 ：B 文章编号：1004-4507(2012)11—0022-06
TheFilterAdsorption M echanism inPhotoresistM aterials
TetsuKohyama
(ENTEGRIS，INC．，BillericaMA01821，USA)
Abstract：Recentlynylon filtershavebeen widely implemented in photolithography processesto
improveyieldsbecausemanyICandphotoresistmanufacturershaveempiricalevidenceindicatingthat
thenylonmembranecanadsorb impurities．However，themechanism bywhichthenylonmembrane
reducesdefectsisunclear．Itisusefultostudydifferentde~ct—causingmechanismsbyfocusingonthe
particularcomponentsofphoto-resists．
Inthispapervariousadsorptiontestswereperformedutilizingsurfacemodificationanddifferent
photoresistcomponentsto measurethe effectofnylonmembranes on resistproperties，including
surfacetension，photoacidgenerator (PAG)concentrationandquencherconcentration．Ultimately，the
study hopestodeterminethemosteffectiveway to increaseyieldsby focusingonhow to best
implementanylonfiltrationstrategy．
Keywords：Photoresist；Filter；Adsoprtiontests；Propertiesofnylonmembranes
Assemiconductormanufacutrersworktorealize on strictcontrolofparticleandmetalconcentrations
shrinking feautres，increasing importance isplaced in processchemicalsthesecontaminantsultimately
收稿 日期 ：2012—10—29
万方数据
团 鱼茎塑鱼
afleetyieldandreliabilit
您可能关注的文档
- 云广±800 kv直流双极运行模式研究 study on the bipolar operation mode of yunnan-guangdong ±800 kv dc system.pdf
- 云广±800 kv直流系统滤波器组投切控制策略优化 optimization of switching control for ac filter groups in yunnan-guangdong ±800 kv dc system.pdf
- 云广±800 kv直流系统旁路断路器保护特性分析 analysis on the protection characteristics of bypass switch in yunnan-guangdong±800 kv dc system.pdf
- 云广±800kv特高压直流线路工程六分裂导线展放 six split wire exhibition of yunnan to guangdong ± 800 kv hvdc line project.pdf
- 云广±800kv直流换流站管母线电晕特性及优化研究 study on tubular busbar corona characteristics and optimization of ±800 kv yun-guang hvdc project.pdf
- 云广±800kv直流工程总线系统运行风险分析 analysis on the operation risk of the bus system in yunnan-guangdong±800 kv dc transmission project.pdf
- 云广特高压 olt 过程的几起故障分析及改进建议 analysis of the several faults during olt process of yunnan-guangdong uhvdc transmission project and related improvement advice.pdf
- 云广特高压与贵广直流工程直流保护系统的异同点 similarities and differences between yun-guang uhvdc project and gui-guang hvdc project.pdf
- 云广特高压工程控制系统功能分布研究 research on control functions in uhvdc system.pdf
- 云广特高压直流输电系统换相失败研究 study on commutation failure of yun-guang uhvdc transmission system.pdf
- 在规范中提升——记陕西省电力公司样板供电所高坝供电所.pdf
- 在行业发展与改革中成长.pdf
- 在恒转矩和弱磁控制状态下的各种永磁同步电机负载铁耗 iron loss in pm synchronous motors under constant torque and field-weakening control.pdf
- 在广场和景观照明中应用led新启示 new inspire of the application of led in square and landscape illuminantion.pdf
- 在跌落撞击负载条件下的键合互连可靠性测试 testing solder interconnect reliability under drop impact loading conditions.pdf
- 在继承中发展在开拓中进取.pdf
- 在冀北公司反腐倡廉建设暨审计工作会议上的报告(摘要).pdf
- 在建电厂的安全管理.pdf
- 在经济社会发展中加强和改进民兵工作.pdf
- 在渴望的土地上……——荆门供电公司全力服务抗旱纪实.pdf
文档评论（0）