周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型 a model for mechanical property evaluation of the periodic porous low-k materials by saw.pdfVIP

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2017-08-17 发布于上海
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周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型 a model for mechanical property evaluation of the periodic porous low-k materials by saw.pdf

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周期性多孔低介电常数材料机械特性的表面波测量模型 a model for mechanical property evaluation of the periodic porous low-k materials by saw

No．11 第28卷第11期半导体学报 V01．28 JOURNALOFSEMICONDUCTORS Nov．，2007 2007年11月 CHINESE AModelforMechanicalEvaluationofthePeriodic Property PorousLow-kMaterialsSAW。 by Li Xiao BaiMaosen Suying,Xiat，and Zhigu0，Yao (ASICCenter，SchoolofElectronicand Design InformationEngineering， 300072，China) TianjinUniversity，Tianjin influenceofthedistributionof onthemechanicalevaluationof low-k Abstract；The nano-pores properties porous filmssurfaceacoustic studied．AtheoreticalSAW modelisset tocharacterize by waves(sAW)is propagation up the dielectrics theoreticaldeductionsofSAW periodicporous bytransverselyisotropicsymmetry．The propagating inthelow，k substratestructureare indetail．The characteristicsofSAWindiffer- film／Si layered given dispersive ent ofthe moduliE。E7andshearmodulusG’ofthefilmsonthese directionsandtheeffects propagation Young’s curvesare resultsshowthatE7andG’cannotbemeasuredthe dispersive found．Computational alongpropagation directionis that tothe perpendicularnano-pores’direction． materials；low-k Keywords：periodicporous dielectrics；transverselyisotropicsymmetry；mechanicalproperty； SAW measurement 7320G PACC：0340K}0630M；6860EEACC；2570；2800l