单晶炉二次加料工具的研究现状.pdfVIP

设计Shej、i 、F分析 rdn妇enxi l●2… 年‘’第5…期 单 晶炉二次加料工具的研究现状 术 王新海，张永军。李俊涛 (陕西国防工业职业技术学院，陕西 西安 710300) 摘 要：单晶炉是生产太阳能电池所需单晶硅的拉晶装置，提高单炉的投料量来增加单晶炉的生产产量受到各 国的 重视。文章阐述了国内外在提高单晶炉产量方面所走的不同路线，介绍了二次加料工具的工作原理和意义，主要对 国内二次加料工具的分类、典型机械结构及其特点进行了较为详细地分析和阐述，并指 出了当前 国内二次加料工具 所存在的问题及发展方向。 关键词：单晶炉 二次加料工具 石英坩埚 直拉单晶硅 中图分类号：T18 文献标识码：A 文章编号：1002—6886(2014)05—0045—04 Overview ofsecondarycasingtoolofcrystalfurnace WANGXinhai，ZHANGYongjan，LIJuntao Abstract：Monocrystalfurnaceisacrystalpulling devicetoprocessmonocrystalinesilicon required forproducingsolar cells．Scholarsofallovertheworldareconcernedwiththeproblemofhowtoimprovefurnace~feedinordertoincreasepro— duction．Thispaperdescribesdifferentmethodstoimprovesinglecrystalfurnace~production，introducestheprincipleand thesignificanceofsecondary casingtool，mainlydescribesandanalyzesindetailtheclassification，thetypicalmechanical structureandcharacteristicsofdomesticsecondary casingtoo1．Thepaperalsopointsouttheexistingproblemsandthefu— turedevelopmentofsecondary casingtoo1． Keywords：monocrystalfurnace；secondary casingtool；quartzcrucible；czochralskisilicon 随着太阳能光伏产业 以及半导体产业的高速发 却方式等 。目前，国内单晶生产厂商主要通过 展 ，对单晶硅衬底材料的要求越来越高，高纯度、高 二次加料工具来提高单晶炉产量和效率，并在此方 均匀性、高完整性 以及大投料量 (三高一大)是单晶 面取得了一定的成绩。 硅材料的发展趋势。由于直拉法生长硅单晶的设备 1 二次加料技术 和工艺比较简单，容易实现 自动控制，生产效率高， 容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低 电阻率单晶， 单晶硅通常使用单晶炉制取，单晶炉E6-71自下 因而得到了广泛的应用 ¨J。 而上的主要部件依次有炉底板、炉体、炉盖、翻板箱、 基于直拉法的单晶炉通常采用设备的大直径化 副炉等，各部件内均设有夹套层，夹套 中流通有冷却 和二次加料方式来提高投料量。在大直径化单晶炉 水。单晶硅一般采用如下方法制造：将多晶硅装进 方面，美国的KAYEX公司和德国的CrstalGrowing 炉体 内的石英坩埚内，加热熔化，然后