第四章2009热阴极电离真空计.pptVIP

第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges 扩展测量下限的措施：光电本底电流Ix的大小取决于软X射线的强度、收集极接受辐照的程度和光电发射率的大小。实验表明Ix与阳极材料关系不明显；与阳极电压呈近似指数关系。但为保证较高、稳定的规管系数K，不能用降低阳极电压的方法减小Ix 。 从电极几何结构上减少离子收集极被软X射线照射的面积——B-A型电离计的设计思想。 在离子收集极附近安装一相对收集极为负电位的的电极（抑制极）——抑制电离规。 在离子收集极电流中扣除本底光电流的离子流调制法——调制B-A电离规。 提高规管系数K——热阴极磁控管电离规。 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges B-A规： 50年代初，贝阿德（Bayard）和阿尔珀特（Alpert）提出新结构电离真空计，从电极结构上减少离子收集极被软X射线辐照的面积，被人们称之为B-A型电离真空计（简称B-A规）。 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges 结构： 收集极仅为一根细金属丝，为了保证足够的离子收集率，将收集极置于栅状电子加速极之内，这样栅内的所有离子将被它接收。 灯丝则移至栅外，对称安装两根，一根工作另一根备用。 B-A规有两种形式，一为管式规，一为裸规。 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges 特点： 普通热阴极电离规收集极为圆筒且加速极在其内，收集极接收了加速极所发出的几乎全部软X射线，B-A规收集极改为细丝后，其接受软X射线的面积大约减少了100倍，故测量下限可延伸两个数量级，可达10-8Pa。 这种电极安排非常有利于电离，收集极与加速极的极间电位分布为对数式（圆筒结构）。B-A规有效电离区域内运动的电子绝大部分时间处于高能状态，碰撞电离的效果得以大为提高；普通电离规的有效电离区域内电子振荡的大部分时间处于低能状态，电离效果差。(P48) 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges 另外，B-A规的结构还加大了加速极栅径以扩大电离空间，增大了电子在空间的飞行路径，故规系数可达7.5 ×10-2～1.9 ×10-1Pa-1，高者可达3.8 ×10-1 Pa-1。 B-A规在收集极引线杆外面套上一小段玻璃管，以屏蔽加速极产生的软X射线照射到这个较粗的引线上，降低了光电流本底，同时又延长了其它电极至收集极的表面漏电路径，包括金属电极蒸发附着在收集极周围引起的漏电。 由于金属电极面积的减小，降低了除气功率，如用电子轰击除气，只需要较低的功率和较短的除气时间，就可使各电极加热至1200℃左右，进行除气。 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges 基于电清除和化学清除机理，B-A规管在工作中表现出较强的抽气作用，一般认为抽速为0.2 Ls-1 左右。考虑到规管连接管的阻力会使规管中的压力较被测压力为低，因此，B-A规管采用粗于普通电离规管的排气管，一般选为 φ20～ φ25mm。另外，据试验发射电流从1mA增加到10mA，其抽气作用增大1万倍，将增大测量误差。 B-A规管与普通热阴极电离规一样，其规管系数K与气体种类有关，这也是由于不同气体具有不同的电离电位所致。不同气体或蒸气对N 2或干燥空气的相对灵敏度如下表。 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges B-A式真空计也是相对真空计，不同结构尺寸的规管，灵敏度也不同。即使同一只规管内的两组阴极的灵敏度也有误差。故准确测量前必须进行校准。 第四章 热阴极电离真空计Hot-cathode ionization vacuum gauges ZJ-6型B-A规管的主要结构尺寸及工作参数： 阴 极——W，φ 0.2，长80mm,V形，2根； 加速板——W或Mo， 0.2，带边杆栅结构，螺旋直 径φ 20mm，螺距1.8mm，螺旋长40mm； 收集极——W，φ 0.1mm，长40mm； 管 壳——钼组玻璃，厚1.5mm，φ 50mm圆筒， 排气管——为 φ25mm。 VAK =150V； VCK =-100V； Ie =0.1～10mA(通常为1mA)； K =0.105Pa-1 ； 光电流本底压力 px=4×10 -9Pa。 基于电清除和化学清除机理，B-A规管在工作中表现出较强的抽气作用，一般认为抽速为0.2 Ls-1 左右。考虑到规管连接管的阻力会使规管中的