Ti_Si_N纳米超硬膜的研究进展.pdfVIP

纳米材料 、新材料 研究进展综述 TiSiN 纳米超硬膜的研究进展 1 1 1 1 2 徐 　晔 ,蔡 　 ,陈秋龙 ,沈 　耀 ,李刘合 ( 1. 上海交通大学 先进热处理与表面改性工程技术研究中心 ,上海 200240 ; 2 . 北京航空航天大学 机械设计与自动化学院材料加工与控制系 ,北京 100083) 　　摘 　要 :随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高 , TiSiN 膜以其独特的纳米复合结构 、超硬 性及其他优异的力学性能成为研究的热点 。本文综述了 TiSiN 纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对 TiSiN 膜的微观结构与力学性能的影响 。 关键词 : TiSiN 膜 ;纳米复合膜 ;微观结构 ;纳米硬度 ;工艺参数 中图分类号 : TB 33 　　文献标识码 :A 　　传统的 TiN 膜具有硬度高 、耐磨 、耐腐蚀及其 相包裹在 TiN 纳米晶四周 ,厚度约为 TiN 纳米晶的 1/ 10 。具有这样的 ncTiN/ aSi N 纳米复合结构 他优良的机械性能 ,在刀具 、工磨具等的表面防护上 3 4 已经有了广泛的应用 。但随着科技的进步 ,传统的 的 TiSiN 膜 ,一般都具有超硬性 , 即硬度大于 40 TiN 薄膜已无法满足对其硬度和耐高温性能的更 GPa 。特别值得注意的是在控制制备工艺的条件 [ 1 ] 苛刻的要求 。人们已经尝试了很多方法来进一步提 下 ,V ep rek 等人 制备了硬度接近或超过金刚石硬 ( ) 度的 TiSiN 纳米晶复合膜 。大多数研究者通过 高 TiN 的性能 ,包括添加合金元素 如 Al , C , B 来 制得三元氮化物复合膜或多层膜 。 XRD ,XP S , T EM 等检测手段确定了 TiSiN 膜的 自从 V ep rek [ 1 ] 首次报导用 CVD 法制得硬度超 这一特殊结构 。研究结果表明 ,在 XRD 谱中只有 过 70 GPa 的 TiSiN 纳米复合膜以来 , TiSiN 膜 TiN 晶体的衍射峰 ,没有其区域 ,又形成了非晶 , 即 以其高硬度 、耐磨性 、优良的热稳定性和化学稳定性 薄膜形成了纳米晶和非晶两相混合的微结构[ 5 ] 。 吸引了大家的关注 。与 TiAlN , TiCN 等其他三 大部分研究者都将 TiSiN 膜出现的超硬性归 结为其纳米复合结构 。首先 , TiN 和 Si N 两相强 元氮化物膜相比, TiSiN 膜是典型的纳米复合膜 , 3 4 烈分离 ,即使在 1 000 ℃时也完全不互溶 ,所以随着 其特有的纳米复合结构使得其硬度比其他膜要高 ,