磁控测射含Zr类石墨镀层微观结构分析.docVIP

材料分析测试方法 课程设计（论文） 题目： 磁控测射含Zr类石墨镀层微观结构分析 学院 材料科学与工程学院 专业 材料物理 班级 材物091 学生 王晓霞 学号 3090101261 指导教师 陈迪春 起止时间 2011.12.26-2011.12.30 2011年 秋季 学期  目 录 第一章 前言 1 第二章 分析方法及仪器选择…………………………………………………….2 2.1薄膜表面形貌分析方法及仪器选择……………………………………...2 2.1.1原子力显微镜……………………………………………………….2 2.1.2透射电子显微镜……………………………………………………3 2.2 薄膜表面成分分析方法及仪器选择…………………………………4 2.2.1 X射线光电子能谱…………………………………………………4 2.2.2扫描电子显微镜……………………………………………………6 2.3 具体选择与分析. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ..7 第三章 实验结果与分析 8 3.1表面形貌分析 8 3.1.1 薄膜TEM分析 8 3.1.2 薄膜AFM分析………………………………………………………11 3.1.3 薄膜SEM分析………………………………………………………13 3.2薄膜成分分析………………………………………………………………14 3.2.1薄膜XPS分析 14 第四章 总结 …………………………………………………………………16 参考文献…………………………………………………………………………17  第一章 前言 磁控测射含Zr类石墨镀层微观结构分析中,我们要选择合适的仪器对其进行表面成分和表面形貌分析，进一步进行结果分析和数据处理以达到了解磁控测射含Zr类石墨镀层的结构和提高我们实验分析设计处理的目的。 第二章 分析方法及仪器选择 2.1 薄膜表面形貌分析方法及仪器选择. 2.1.1 原子力显微镜（AFM） 1.1 特点： 1）Z轴分辨率更高。 2）功能更强大。 　　 它不再像电镜只能看到二维的图像，也就是 x,y 方向上的大小，还能得到 z 方向上的大小，也就是三维的图像，然后对扫出的图像进行定量分析，比如粒径的分析，颗粒分布，以及剖面的测量等等。同时，它除了分析测量的功能以外，还能进行操纵和加工。 3）信息更丰富，它不但可以测量绝缘体表面形貌，达到接近原子分辨，还可以测量表面原子间的力，测量表面的弹性、塑性、硬度、粘着力、摩擦力等性质。 1.2 分析原理： AFM的原理接近指针轮廓仪（Stylus Profilometer），但采用STM技术。指针轮廓已利用针尖（指针），通过杠杆或弹性元件把针尖轻轻压在待测表面上，使针尖在待测表面上做光栅扫描，或使针尖固定，表面相对针尖做相应移动，针尖随表面的凹凸做起伏运动，用光学或电学方法测量起伏位移随位置的变化，于是得到表面三维轮廓图。指针轮廓仪所用针尖的半径约为1um，所加弹力（压力）在10E（-2）~10E(-5)N，横向分辨率达100nm，纵向分辨率达1nm。而AFM利用STM技术，针尖半径接近原子尺寸，所加弹力可以小至10E(-10)N，在空气中测量，横向分辨率达0.15nm，纵向分辨率达0.05nm。 1.3 注意事项： 1） AFM研究的是界面（固气界面、固液界面、液液界面）上的性质，样品一定要固定。 2）AFM适用。 2.2.2 透射电子显微镜（TEM） 膜的不同厚度会影响铁电铁磁性能。由于透射电子显微镜具有高分辨率高放大倍数，主要用于材料微区的组织形貌、晶体缺陷分析和晶体结构测定。则可用来测定膜的截面形貌，通过截面分析，测量出厚度。进而根据膜表面积和厚度计算出体积，和磁化强度。 1.1 特点： 1） 能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。 2） 样品制备过程简单，不用切成薄片。 3) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。 4) 景深大，图像富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。 5) 图像的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。 6)