第05章-电阻.pptxVIP

第五章电　阻;电阻率和电阻版图 电阻变化和寄生效应 电阻类型;电阻率和电阻版图;欧姆定律 国际单位制前缀 ;相关同质材料的电阻率;薄膜电阻;方块电阻 方块电阻的计算 均匀掺杂薄膜的方块电阻可以计算得到 扩散形成的电阻通常由经验测量得到;;宽度修正 横向电流不均匀效应 宽度偏差通常很重要，电流的不均匀效应相对次要 应使电阻足够长，以减弱电流不均匀效应的影响，而无需校正;方形拐角的方块电阻约为0.56方块，可近似为半个方块计算;;;电阻变化和寄生效应;主要因素 工艺变化 温度 非线性 接触电阻 次要因素 方向、压力、温度梯度、热电子效应、刻蚀速率不一致性 NBL推结、电压调制、电荷分散、氢补偿、PSG极化;方块电阻误差 薄膜厚度、掺杂浓度、掺杂分布、退火条件 电阻尺寸误差 光刻误差、刻蚀速率不一致 线宽控制 深扩散??阻精度同时取决于横向扩散和线宽控制 ;线性温度系数 二次温度系数;理想电阻 电压和电流特性为线性 实际电阻 电阻阻值随电压的变化而变化 自加热、载流子的强场速度饱和、耗尽区侵蚀;接触电阻计算 典型接触电阻阻值;寄生电容 寄生电感 结电流泄漏;;;;电阻类型;典型阻值 50mΩ ~ 5Ω 主要取决于金属层厚度，其次是组分 用途 用于构造电流敏感电路和大功率双极性晶体管的镇流 注意 应位于场氧化层上面，避免氧化层台阶的影响 上层金属导线可以放在下层金属电阻之上 下层金属导线不能放在上层金属电阻之下;;;本章结束