不同表面结构的半导体发光二极管的效率与寿命的研究！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’ $## ， ， ， O8- ’ \8 ]*/M*PG $## （ ） ###E($#Y$##Y’ # Y#’%’E#’ +CZ+ 0[WU.C+ U.\.C+ !$## C31/ 03G, U8F 不同表面结构的半导体发光二极管的 效率与寿命的研究! ! 陈依新 沈光地 韩金茹 李建军 郭伟玲 （北京工业大学光电子技术实验室，北京 ##$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $## ’ $ $## ’ ( 对 基 系半导体发光二极管（ ， ）提取效率低导致器件发热而寿命缩短等问题 )*+, +-)*./0 -1234 561441/2 71875 9:; 进行了分析，提出了一种新型表面结构的9:;，在与普通9:; 相同的外延生长条件下，通过后工艺引入了表面图形 并腐蚀出凹凸不平的表面以改变光子传输方向，同时制备了导电光增透层，既增强了电流的扩展同时使得更多的 光子能够发射到体外，在相同的注入电流下，新型表面增透结构 的轴向光强平均是普通 的 倍，由于光 9:; 9:; ’ 提取效率高，更多的光子能够发射到体外，发热减少，饱和电流更高，达到$’ 6+，加速老化寿命测试显示：裸芯寿 命为 = #% 3，封装后寿命为( = #% 3，器件适合于大电流下工作 关键词：表面增透结构，轴向光强，光效，寿命 ： ， ， ， !## ?$@#: ?(A#B ?’’: ?(A#9 的光子无法全部从体内射出，最终被吸收，转变成大 引 言 量的热 限制普通红光9:; 光提取效率的三个主要 问题是：第一，电极正下方所占注入电流的比例较 目前，半导体发光二极管与常规照明光源相比， 大，该部分电流在有源区产生的光子由于被电极的 阻挡或吸收而不能发射到体外；第二， 衬底的 具有耗电低、寿命长、体积小、成本低、节能环保等优 )*+, 点，在各个领域里得到了非常广泛的应用，如大屏幕 禁带宽度约 %( 5O，对红光有着强的光吸收，只要 显示、指示灯、交通信号灯、室内外的各种装饰灯、汽 发射到衬底方向的光子几乎全部被吸收；第三，半导 ［］ 体材料的折射率与空气折射率相差较大，由于全反 车车灯、短程通信等 在这些应用中，红光系 9:; 在数量上占据了’# N 以上的市场份额，主要是源于