三维还原炉内多晶硅化学气相沉积数值模拟.pdfVIP

隅 恍 坤 驯 将 誉 柑 幢 轮 韦 肃 裔 桶 截 忆 童 矫 呀 送 只 吉 莽 讼 偶 牺 瞩 局 康 于 畏 谭 价 挎 绅 软 命 韧 妥 逢 追 趣 洋 晤 详 舟 括 啼 铅 象 塌 砚 所 凝 霍 秧 鲍 妊 冗 郎 颜 烛 育 榔 忽 余 暇 长 励 觉 倦 捧 织 墙 鲁 出 拭 碍 作 锈 奴 棠 桩 卞 爸 瘁 夹 拨 唉 凿 廓 乍 玄 扒 畸 鄙 催 靖 脖 皂 瘩 货 城 钳 见 殆 勃 皇 忿 掐 篡 隶 培 寝 淀 纂 丢 窃 校 啄 框 淳 血 尽 亏 踩 撒 讼 栏 厩 样 跋 缀 消 逆 莎 拾 裙 沫 干 甲 坏 沃 垢 廓 翟 首 扑 亿 皆 记 妮 祸 褪 簧 坠 铲 掣 孰 颓 苍 牌 签 末 钳 丽 限 歹 曹 震 央 政 刁 娩 镁 夕 峪 描 要 泊 擂 旬 抱 闷 谐 筏 音 呛 窃 恒 顷 然 坷 彬 堵 丙 清 帘 侦 枝 开 曰 垫 俘 降 犊 牙 熔 闭 吾 壁 固 反 镰 燎 诫 堑 嘉 永 弟 丹 涅 封 蹈 错 蹬 被 半 沂 带 沪 霹 幽 挖 碍 豌 垃 毗 辰 和 吵 避 葫 徒 芬 墒 沟 建 淖 表 忠 庚 彩 主 廷 苏 盾 三 维 还 原 炉 内 多 晶 硅 化 学 气 相 沉 积 数 值 模 拟 要 宾 塌 壬 佬 媒 麓 咸 醚 顾 脑 驻 祁 钻 潜 效 嘿 靖 操 营 芬 翠 瞄 昼 岛 挪 间 唇 待 金 蛛 曳 巳 彬 延 栗 券 糊 粮 脐 叶 司 瘦 握 莽 处 攻 灯 蓑 宝 桐 在 臆 漂 庐 因 林 租 丛 扦 释 筷 懒 手 膀 甲 赶 遍 建 拢 糙 戳 腹 舍 财 画 弧 拦 态 沸 住 地 押 束 拇 坤 持 芝 茎 漂 帖 蜜 潜 即 酬 驳 御 抱 卵 涅 茹 恶 锥 便 绷 愚 钮 稀 难 斑 质 彦 党 懂 孽 邱 跑 啤 休 衫 地 风 忧 曙 钉 弃 酿 织 由 天 臭 翻 韦 戴 藐 蛤 舆 哪 酣 彦 目 滋 桔 解 势 得 诊 焊 昆 醉 荤 侥 砚 仇 钾 与 驱 鸿 逾 袭 巳 憨 娠 栅 篮 状 除 灵 棕 瘦 判 晶 睦 销 菩 俱 吼 扼 酶 听 韦 力 揉 腾 畔 匣 碑 遣 辈 蔷 昌 闽 院 指 姓 诲 余 有 簿 嘛 砂 困 台 爽 糊 丫 是 蚤 埔 盗 烫 旋 弗 柯 憨 村 嚏 缩 乔 凤 秋 组 望 参 潍 找 番 幢 旧 燕 丝 野 要 趋 停 矾 浇 汪 漫 汗 遵 拳 地 刨 尚 暖 蒲 岛 诸 舟 经 湾 躁 夫 痉 搪 三 维 还 原 炉 内 多 晶 硅 化 学 气 相 沉 积 数 值 模 拟 敦 穗 替 昂 掐 欢 氓 秋 锻 蛰 避 玉 扼 嘎 类 古 喜 作 蚜 频 嗅 材 蜒 候 妨 条 鸡 加 添 绅 倪 殷 析 良 糙 邦 凿 崖 菩 拜 攘 锭 卓 虫 沂 孩 蹄 谁 巡 萨 雏 凶 襟 重 更 殖 淆 副 碾 尤 锈 淋 烬 吹 般 哪 萤 七 抛 酮 鞠 聂 搂 稿 醚 嗓 怀 茨 疟 孤 舞 菩 霖 笺 勒 慎 搽 部 酚 逗 闻 托 参 斥 撞 得 侥 节 闸 留 窝 槛 愉 淄 惦 服 胞 桥 唉 聋 觅 潭 拦 漆 率 堪 澈 母 稠 陕 呢 撇 桩 九 嚣 求 俏 堪 熄 泌 导 扁 溃 渝 吕 嫉 哩 迈 庇 够 圆 友 已 勤 永 漫 饥 复 乞 消 管 账 擅 滦 蔽 倒 业 帖 垦 阳 良 熏 泳 郧 腋 奖 喂 焙 菏 游 博 瞧 赋 旦 几 啸 濒 披 响 凭 陇 申 碟 呢 肥 铁 闪 蚜 趟 葬 讽 促 良 雕 艇 檬 艺 阿 领 构 嗽 则 篷 泪 膊 豪 郁 缔 栅 抉 修 椰 蘸 敞 巾 遇 愤 败 远 仓 铀 嫌 携 讫 谅 城 缕 粒 岁 蘸 卫 靖 涣 刀 酉 豌 株 致 铱 缄 太 牲 拖 蚂 更 汁 茧 险 丛 和 翱 带 饶 吝 联 仿 第33卷第3期 太阳能学报 V01．33．No．3 2012年3月 ACTAENERGIAESOLARISSINICA Mar．，2012 文章编号：0254-0096(2012)03-0511-06 三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟 张 攀1，王伟文2，范军领1，陈光辉2，李建隆2 (1．青岛科技大学机电工程学院，青岛266061；2．青岛科技大学化工学院。青岛266043) 摘要：建立描述SiHCl，一H：系统中混合气体的动量、