同一平面的三轴运动分析 3-d kinematics analysis on an identical plane.pdfVIP

电子工业毫用设菩 ·新技术应用· 同一单面硇三轴运动分析 李万河，陶利权 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊101601) 摘 要：一种承印台对位调整方式的新颖机构，实现同一平面的三轴运动。 关键词：结构；同一平面；三轴运动分析；应用 中图分类号：THll3．22 文献标识码：B 3一DⅪnematicsonanIdenticaIPlane Analysis LIWall-he，TAO Li—quan 45thInStittlte East (The lOl601，China) ofCETC，Ya珂iaoBeijing Abstract：AnoVel曲rLlctureof modelon table，Whichmakes3一Dmotionon ali黟lmenttuning working an identical plane。 Kinematics KeywordS：Stmcture；Identicalplane；3一D AnalySis；Application 1 引言 在加工和装配中；而机械锁定装置受结构所限其上 的调整杆多置于机构底端，造成操作不方便，调整 印刷基片承载、吸附、定位、双工位(对位调整、 时间加长，降低工作效率。 印刷)间往复传递的丝网印刷产品的主体机构—— 工作台，在印刷循环周期时间分配中，可控变量最 2 新结构组合方式及运动特性 大，尤其当对位调整采用人工操作方式，其方法以 及便捷性是反映设备工作效率和精度的重要性能 2．1同平面三轴往复运动结构 指标，其结构的优化组合尤显重要。 驱动固定于定台上的三组螺旋测微器，驱使动 承印台对位调整多采用定向位移驱动、平面弹 台以定台上平面为移动基准平面，实现动台相对定 性约束及机械锁定方式，当松开机械锁定装置时进 台在同一平面做三轴(戈、仆口)方向的往复运动(见 行承印台鼽¨p向独立调整对位后，再紧固机械锁 图1)，作为印刷基片承载台的对位调整。其中动台 定装置，因而工作台呈叠加型结构。零部件结构设 下平面牵制2个拉簧铰点，定台下平面相应牵制2 计相对复杂，戈、y向导向正交性的高要求尤其反映 个拉簧的另一铰点，以实现空问维度弹性约束。采 收稿日期：2007．00．00 作者简介：李万河(1964．)，男，内蒙古呼和浩特人，高级工程师，从1989起一直从事半导体专用设备的开发研究工作。 万方数据 电字工业毫用设蚤 ·新技术应用· 用负压吸附对动台进行锁定。 向作直性移动；因y，向是角块斜面方向，螺旋测微 器玛的驱动量应同时增j}}y方向移动时戈方向的 偏移量。 2．3驱动角 角块受力矢量的x、y向移动的线性示意图见图3。