投影光刻机中pdp-11主控制计算机系统的替换 the pdp-11 computer system of step-and-repeat lithography machine replaced.pdfVIP

专用设备设计研究 电 子 工 业 毫 用 设 备 ■ 投影光刻机中PDP一11主控制 计算机系统的替换 曾美芹 (上海微高精密机械工程有限公司，上海201203) 摘 要 ：介绍 了针对早期 的投影光刻机存在 PDP．11计算机速度慢 ，控制系统难操作 的问题 利 用普通 PC机通过 GPIB卡替换 了PDP．11计算机 ，使用VB语言编写的程序替换 了主控制系统 程序。 关键词 ：PDP．11计算机 ；GPIB卡；投影光刻机 ；VB 中图分类号 ：TP303 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2011108—0038．03 ThePDP-11computersystem ofStep-and-Repeat lithographymachinereplaced ZENG Meiqin (ShanghaiNanpreMechanics．，LTD．，Shanghai201203，China) Abstract：Introduced fortheearly Step—and—RepeatlithographymachinetherePDP一1lcomputeris slow，difficulttocontrolsystem operation problem ，theuseofordinaryPC through theGPIB card replaced thePDP-11computer，usingprogramswritten inVB languagereplaced themain control system prorgam ． Keywords：PDP--11computer；GPIB card；Step--and-·Repeatlithorgaphymachine；VB PDP一11为迪吉多电脑于 20世纪 70年代到 PDP一11最基本的设计是非常优 良的，而 月也 80年 代所 销 售 的一 系列 16位 元 迷 你 电脑 。 一 直有更新加入新的技术 。然而，PDP一11还是必 PDP．11深受程式设计师喜爱，主要是在于其高度 须面对其 16位元的架构极限，这是没有办法透过 正规化指令集的设计，使得程式设计师可 以容易 校调或是扩充来克服的。虽然有些机型可 以支援 地分别记住所有的运算码 ，以及指定运算子的方 更大的实体 内存寻址，但所有的应用程式仍然被 法 ；而且 由于 PDP一11的设计 ，只需要半专业 的人 局限在一个 16位元的虚拟寻址空间而只能够使 员来进行生产组装，产品在尺寸精确上的要求，并 用 64K的内存 。 不是非常要紧的，所 以PDP．11计算机风靡一时。 步进式投影光刻机出现于20世纪80年代早 收稿 日期 ：2011—07—13 万方数据 ● 电 子 工 业 专 用 设 备 专用设备设计研究 期，属于综合性、高科技产品，它所蕴含的技术是 能的卡仅能安装在 PCI插槽上，仅仅给设备发送 当前科技的前沿技术 。使用的就是 PDP一11计算 信息的卡就有不同的接 口，最为方便的就是USB 机 ，RSX一11M 操作系统，从此开始 了投影光刻机 接 口了，安装驱动程序后即可安装卡。 统治集成 电路的光刻工艺时代 。由于各方面的原 因，如今 国内使用的投影光刻机大多数是 20世纪 2 软件 系统 八九十年代 的二手设备，经翻新改造后仍然可