图像处理在双面光刻机中的应用 application of digital image processing in double-faced lithography.pdfVIP

下载本文档

6
0
约1.21万字
约 4页
2017-08-18 发布于上海
举报
版权申诉

图像处理在双面光刻机中的应用 application of digital image processing in double-faced lithography.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

图像处理在双面光刻机中的应用 application of digital image processing in double-faced lithography

电子工业专用设备制造设备 Eguipment for Electronic Products Manufacturing IC 图像处理在双面光刻机中的应用李久芳尚志伟 ! ! # 中国电子科技集团公司第四十五研究所北京东燕郊 065201 ! ! 摘要讨论了双面对准光刻机的底部对准原理并着重介绍了图像处理在高精度光刻机中的应用通过对采集到的标记图形进行图像分割和边缘定位使标记的边缘精确定位在亚像素级从 ! 实验的结果来看这种方法能够对对准标记达到很好的边缘定位提高了对准精度 ! ! 关键词!底面对准$图像处理$边缘检测中图分类号! 文献标识码! 文章编号! TNS05.7 A 1004-4507 （2006）12-0057-04 Application of Digital Image Processing In Double-faced Lithography LI Jiu-fang, SHANG Zhi-Wei (The 45th Institute of CETC, Beij ing East yanj iao 065201, China) Abstract : This paper discusses the principle of bottom side alignment system on double-faced lithogra- phy, and mainly introduces the application of digital image processing in the system. The alignment mark image can use image segmentation and edge localization. This method can make the mark image edge accurately locate subpixel. From the results of experimentation ，the method can make the mark image edge achieve good edge localization and improve the alignment precision . Keywords: Bottom side alignment ；Digital image processing ；Edge detection 1 引言 2 对准原理光刻技术是大规模集成电路制造技术和微光底部对准是根据视频图像对准的思想，由德国学、微机械技术的先导和基础。对准系统是光刻机 KarlSuss 公司为适应大直径