微型pcr系统及其温控特性研究 study on micro pcr system and its temperature control property.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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微型pcr系统及其温控特性研究 study on micro pcr system and its temperature control property.pdf

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微型pcr系统及其温控特性研究 study on micro pcr system and its temperature control property

集成电路设计与开发 ofIC Dt嘲弘andDevelopmem doi：10．3969／j．issn．1003—353x．2010．12．015 微型PCR系统及其温控特性研究国石磊1，刘泽文1，秦健2，田昊3，司卫华1 (1．清华大学微电子所，北京100084；2．湖南大学物理与微电子科学学院，长沙410082； 3．大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连116024) chain reaction，PCR)系统，利摘要：介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase 用该系统进行了温度控制和响应特性研究。系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成。PCR芯片采用MEMS技术制作。用微型PCR系统对芯片上含有微加热器的反应仓进行了升温降温、循环温度和液体负载对比加热等实验。结果显示：微加热器升温速度可以达到3℃／s，降温速度可以达到l℃／s，稳定后温度变化小于0．1qC。通过实验结果与理论计算的对比，分析了微加热器的最高温度与加热功率之间的对应关系及提高温控特性的关键因素。关键词：PCR芯片；MEMS；微加热器；温控特性中图分类号：TN4 文献标识码：A PCR Its onMicro and Study System Temperature Control Property Guo Tian Weihual Shileil，Liu Jianj Ha03，Si Zewenl，Qin andMicroelectronics (1．Institute 100084，China；2．SchoolPhysics ofMicroelectronics，TsinghnaUniversity，Beijing of Micro／Nano Science，Hunan 410082，China；3．Thet6yLaboratoryfor University，Changsha and Province，Dalian 1 16024，China) TechnologySystemofLiaoning UniversityofTechnology，Dalian Abstract：Asiliconebasedmicro chain was chip PCR(polymerasereaction)systemintroduced．Heating and werecharacterizedwiththe microPCR consistsofthePCR control temperatureresponse system．The system control PCR werefabricated electro boa