微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程 modified reynolds equation for squeeze-film air damping of slotted plates in mems devices.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程 modified reynolds equation for squeeze-film air damping of slotted plates in mems devices.pdf

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微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程 modified reynolds equation for squeeze-film air damping of slotted plates in mems devices

第27卷第3期半导体学报 Vol_27No．3 CHINESEJOURNAL 2006年3月 OFSEMICONDUCToRS Mar，2006 Modified for Air ReynoldsEquation Squeeze—FilmDamping ofSlotted in PiatesMEMSDevices+ Sun Yuanchen91，BaoMinhan91”，YangHen92，andHuangYipin91 (1 Fudan 200433，China) StateKeyLaboratoryofASICandSystem，DepartmentofMicroElectronicstUniversity，Shanghai (2 andInformationTechnology． Chinese 200050，China) AcademyofSciences．Shanghai differentialfor air inslotted is Abstract：A equation platesdevelopedby calculatingsqueeze-filmdamping the termisaddedtoaccountfortheeffectofairflow thestotsontheair modifyingReynoldsequation．A through in ofthe Theendeffectoftheairflowtheslotsisalsotreated aneffectivechannel dampingplate bysubstituting ofthe channellength(i．e．thethicknessdampingpressure lengthforthegeometric plate)．The force，and forcecoefficientoftheslottedcanbefound the under ing damping plates bysolvingequationappropri- ate conditions．Withrestrictionsonthethicknessandthelateraldimensionsoftheslotted re— boundary plate moved，the ausefultoolfor the air effectofslotted with