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微机械陀螺温度特性及其补偿算法研究 research of thermal characteristic and compensation algorithm for mems-gyroscope
～基锚与算法一一 电子测量技术 第34卷第1期
ELECTRONICMEASUREMENTTECHNoI。0GY 2011年1月
微机械陀螺温度特性及其补偿算法研究
温祖强钱峰
(上海交通大学仪器科学与工程系 上海200240)
摘 要：微机械陀螺是近年发展起来的一种角速率传感器，具有体积小、重量轻、价格便宜等优点。但是微机械陀螺
的精度很容易受到温度的影响。本文介绍了微机械陀螺的温度特性，并且通过实验推导出陀螺输出与温度的关系，在
此基础上使用了最d,--乘拟合与神经网络两种算法进行温度补偿并将结果进行了对比。通过实验验证对于由温度导
致的误差有很好的补偿效果，为今后在实际中的应用提供了一种参考途径。
关键词：微机械陀螺；温度补偿；最小二乘；神经网络
中图分类号：TPll文献标识码：A
Researchofthermalcharacteristicand
compensation
for
algorithmMEMS—gyroscope
Wen Qian
ZuqiangFeng
ofInstrumentScienceand
(Dept Engineering，ShanghaiJiaoTong 200240)
University，Shanghai
isakindof inrecent hassmaller
Abstract：MEMS-gyroscopeangular—rate-sensordeveloped years，which size，lighter
andlowercostthantraditional influencesthe of
weight rate-sensor．Buttemperature performance
changinglargely
influence
bytemperatureis ofdrive-
MEMS-gyroscope．The changinganalyzed．Relationamongzero-rate-output，phase
axisand isderived．Therefore，tWO whichareleast methodandneural
temperature compensationalgorithms square
networkmethodareintroduced．Thethermalbiasdriftofthe is
gyroscopecompensatedby
result ofthe
reduced．The areferencefutureuseof
gives MEMS-gyroscope．
network
Keywords：MEMS-gyroseope；compensation；l
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